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微泰电子发布四款 PXIe 高精度源测量单元：2 至 32 通道，覆盖硅光晶圆级并行测试
- 分类：新品发布
- 作者：onetest仪器资源库
- 来源：onetest仪器资源库
- 发布时间：2026-10-24 21:10
- 访问量：21
微泰电子发布四款 PXIe 高精度源测量单元：2 至 32 通道，覆盖硅光晶圆级并行测试
Onetest仪器资源库 · 新品速递
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硅光凭 CMOS 工艺「高集成、低成本」的家底，正在 AI 互连里站上 C 位。但一颗硅光芯片里往往集成数十上百个功能单元——多路调制器、探测器阵列、Heater、激光器交织其间，芯片做得越密，测试越容易变成卡点。传统台式源表价格高、集成度低，面对这种复杂驱动与测试需求，一个通道一个通道地排队，产能和节拍都吃不住。
微泰电子基于高密度 PXIe 架构一次推出四款高精度源测量单元（SMU），通道数从 2 到 32，把「晶圆级并行」和「fA 级漏电表征」放到了同一条产品线上。
图1 微泰电子高精度多通道 SMU 系列，3U PXIe 板卡形态（图源：微泰电子）
01四款型号，把通道数拉开
四款产品的分工不是简单的「高中低配」，而是按测试场景切的：
MT5238（32 通道） 高密度并行测试旗舰：1 MS/s 采样率、32 通道同步采集，专为大吞吐量产线而设
MT5232（12 通道） 均衡之选：±24 V / 50 mA 量程，通道数与单通道精度两头兼顾，研发与中试都在射程内
MT5201A（4 通道） 全能型：±150 mA 电流、10 pA 分辨率，实验室多场景通吃
MT5252（2 通道） 极致精度：±60 V 高压、1 fA 电流分辨率，专攻超低漏电器件表征
02硬指标：四个型号逐条看
MT5238 32 通道｜1 MS/s
电压 ±15 V｜分辨率 80 μV｜精度 0.02% + 400 μV
电流 ±32 mA｜分辨率 80 pA｜精度 0.04% + 400 pA
MT5232 12 通道｜600 KS/s
电压 ±24 V｜分辨率 20 μV｜精度 0.015% + 1.2 mV
电流 ±50 mA｜分辨率 1 pA｜精度 0.03% + 160 pA
MT5201A 4 通道｜600 KS/s
电压 ±24 V｜分辨率 20 μV｜精度 0.015% + 1.2 mV
电流 ±150 mA｜分辨率 10 pA｜精度 0.025% + 1.5 nA
MT5252 2 通道｜1.8 MS/s
电压 ±60 V｜分辨率 100 nV｜精度 0.02% + 30 μV
电流 ±100 mA｜分辨率 1 fA｜精度 0.05% + 750 fA
03硅光测试要测的，其实就三件事
剥开所有指标，硅光器件的核心评估最终都落在电流-电压特性上。现场要拿下的关键参数不多：
PD / Ge-PD 暗电流与响应度 精度通常要求做到 nA 甚至 pA 级，差一个数量级，结论就可能天差地别
Heater 电阻值与功耗 通过 IV 扫描评估热调节能力，功耗优化全靠这组数据
多路调制器偏置与电流监测 偏置点稳不稳，直接决定调制质量
04单通道是单车道，多通道是立交桥
硅光 PIC 里 Heater、调制器、Monitor PD、Laser 要各自独立偏置与 IV 测量，上百个待测点排队，单通道方案的效率一眼望不到头。多通道并行把吞吐量提上来，随之带来三道新考题：通道之间的时间同步、高密度集成下的信号完整性、以及不断加码的扩展成本。
还有更隐蔽的一层：光功率计、OSA 这些设备要和 SMU 做到微秒级精确同步，保证光电参数的时间关联性——驱动激光器的同时采集电流，时序差一口气，数据就可能误判。
图2 硅光器件光电协同测试：PXIe 机箱内的多通道 SMU 驱动芯片，激光器、OSA、光功率计同步采集（图源：微泰电子）
微泰这套方案针对的正是这两点：光电协同测试系统可通过触发总线与可调谐激光器、OSA、光功率计同步，在驱动激光器芯片或测试 PD 光响应度的同时采集电流；单台 PXIe 机箱通过多卡扩展可出上百个通道，支持对多颗芯片做晶圆级多探针同步测试。
05统一平台与选型
四款产品均为 3U PXIe 标准外形，可在同一机箱内混搭，通道数与性能规格自由组合——从几个通道到上百个通道的定制系统，一台机箱就能配齐。所有产品提供基于 VISA 的 DLL 驱动，二次开发与系统集成不被锁死。整套高精度 SMU 由微泰电子自主设计和制造，功能可按用户要求定制。
需要完整版技术规格书、选型建议或样机演示，可直接联系：
邮箱 info@vtechsemi.cn
电话 027-87870872
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