一文了解一家仪器公司：讯速信远，从光芯片封测到 1.6T 光眼图测试

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成都讯速信远成立于 2018 年，做三件事：微波与光通信测试仪表、芯片封装设备，以及实验室和产线的整体规划。三件事叠在一起，覆盖的是一条完整的链——从一片晶圆进探针台，到模块做完 1.6T 光眼图，中间每一段都有对应的仪表或机器。

在国内做光电测试的厂商里，同时卖仪表、卖封测设备、还替客户规划整条产线的公司不多。原因不难理解：仪表可以代理，设备可以集成，产线规划却要靠工艺经验一点点攒；而且方案一旦落进客户的洁净间，后面的耗材、校准、扩产都长在这条线上。讯速信远这七年，走的正是从「卖东西」到「进产线」这条路。

01七年：从代理到产线

公司成立于 2018 年，专业从事微波和光通信测试测量仪表、芯片封装设备和综合服务，是国家级高新技术企业，自成立以来年销售额增长率超过 50%。资质与节点大致是这样一条线：

2021 年　获成都市高新区「雏鹰」计划企业

2022 年　斥资建设两个开放封装实验室，具备从贴片到密封再到检测的全流程工艺设备

2023 年　新增合同额突破 1 亿元；通过高新技术企业认证与 ISO 三大管理体系认证；入选高新区「瞪羚企业」

2024 年　获「专精特新」企业称号；年初在苏州科技城光子产业园注册成立讯速信远科技（苏州）有限公司

服务网　北京、青岛、长沙、武汉、西安、重庆、深圳、郑州设有分支机构或常驻人员

七年时间里完成的三级跳，顺序其实有讲究：先靠仪表把客户认下来，再建实验室把工艺摸清楚，最后才敢接产线规划的单子。跳过前两步直接做第三件事的公司，方案多半只能停在图纸上。

图1　讯速信远成都办公楼，位于青羊光电子信息产业园（图源：讯速信远）

02十一块业务，其实是三段

公司列了 11 个产品业务方向，摊开来看是清清楚楚的三段：

仪表段　激光噪声与线宽测试系统、1.6T／800G／400G 测试系统整体方案、20G／50G PON 测试系统方案、光谱分析仪、高精度源表、硅光晶圆测试系统、芯片探针测试方案

设备段　微组装封测设备方案、wafer 加工设备集成方案

产线段　COC 封装工艺线、TO／BOX 封装工艺线的整体规划及建设

三段对应车间里的三种人：研发要的是能出数据的仪表，产线工程师要的是能重复的设备，建厂的人要的是一张从空房间走到量产的图。能同时接住这三种问题的供应商，「整体方案」这四个字才算落到实处——否则就只是把别人的东西打包转手。

03自研：线宽与噪声

十一块业务里，真正自己做的只有第一块：激光噪声和线宽测试系统。放在最前面不难理解——线宽和 RIN 是激光器最难测的两个量，一个决定相干光通信能走多远，一个决定 PAM4 的眼图张不张得开；而这两类仪器过去长期只有国外几家在做，价格和交期都不由买方定。

讯速信远把它做成了两台：GP-LWM100 管相位噪声与线宽，GP-RT100 管相对强度噪声。

GP-LWM100：把线宽测到 1 Hz 以下

GP-LWM100 采用自外差相干相位噪声提取技术和噪声状态估算技术，能直接测量激光器的相位噪声并估计其 FWHM 线宽，低至 1 Hz 以下，无需另配低噪声参考激光源，也无需外接频谱分析仪。

难的地方在底噪。自外差的做法是把被测光分成两路、其中一路延时后再相干拍频，延时越长频率分辨率越高，但延时链路上的每一分散射也会一起进到谱里；底噪压到 −160 dBc/Hz 这一档，才谈得上测 Hz 级线宽。它的光频率噪声灵敏度做到 1 Hz²/Hz@10 MHz，本征线宽测量极限 6 mHz，频率分辨率 0.1～100 kHz。

产品特性：

超窄激光线宽的亚 Hz 级精密测量和快速实时分析

国内首创频率噪声带宽可达 260 MHz 的解决方案

可定制测量功率范围与波长波段 610 nm～2000 nm

光频率噪声分析、光相位噪声分析、本征线宽／积分线宽计算、双激光频率相关性分析

可选配相对强度噪声 RIN 分析功能

无需额外配置频谱分析仪

基于 PC 的直观易用的上位机软件操作界面

随机软件里那组读数很说明问题：同一台被测激光器，积分线宽按 300 μs 积分算得 22.31 kHz、按 1 ms 积分算得 30.36 kHz，洛伦兹拟合线宽 9.49 kHz，本征线宽 195.73 Hz。四个数放在一起才成立——积分时间拉长，低频噪声被算进来得更多，线宽读数自然变大，只有本征线宽是器件自己的底子。若仪器只给一个数，这些区别就藏起来了。

主要技术规格：

输入光波长　1260～1360／1530～1565 nm，730～780／1000～1100 nm 可选，610～2000 nm 可定制

输入光功率　−8～+3 dBm@线宽、0～10 dBm@RIN（@1260～1565 nm）

光噪声测试带宽　0.1～10 MHz；可选 50／80／100／260 MHz

光频率噪声灵敏度　1 Hz²/Hz@10 MHz

频率分辨率　0.1～100 kHz

本征线宽测量极限　6 mHz（噪声谱极限）

白噪声相位噪底　−160 dBc/Hz

RIN 测试（可选）　1 Hz～10 MHz

接口　输入 FC/APC，通讯 USB 接口

供电与体积　220±22 V AC 50／60 Hz；47.6×14.1×53.0 cm，<15 kg

应用领域这一串名单值得单看：相干光通信、硅光芯片设计、激光雷达、光纤传感、原子钟、引力波、量子计算与通信、基础物理研究。共同点只有一个——都要极窄线宽，不是通信一个行业在用。

图2　GP-LWM100 激光噪声线宽分析仪：自外差相干相位噪声提取，本征线宽低至 1 Hz 以下（图源：讯速信远）

GP-RT100：RIN 测到 50 GHz

RIN 的要求跟着波特率往上走。进到 PAM4、800G 之后，RIN 测量带宽必须大于系统的调制速率，否则测到的是被仪器带宽截断过的噪声——曲线看着平了，实际只是没测到。GP-RT100 把测试频率做到 50 GHz，1480～1620 nm 波段可定制到 145 GHz；RIN 最小值 −160 dB/Hz@20 GHz、−156 dB/Hz@50 GHz，搭配低底噪分析仪与高精度电流测试仪即可测到这一档。

它没有自己造频谱仪，而是兼容国外及国产主流信号分析仪：前端与算法做成一台盒子，配一台现成的分析仪就能测。这个选择很实际——客户实验室里多半已经有一台，让他再补一台前端，比让他再买一台整机的说服成本低得多。选件里的笔记本电脑、高性能数字万用表、信号分析仪都可以按需配。

应用领域：

直调激光器、外调激光器测试

弛豫振荡频率测量——激光器筛检

100／200／400G／800G、PAM4 的必要测试指标

光传输 CATV 或光纤无线电等模拟通信应用

通信用激光源的研发、生产和品保的各个阶段

光调制系数 OMI 测试、模拟光传输等方向

主要技术规格：

输入光波长　1260～1625 nm（单模）／780～1625 nm（多模）

输入光功率　<10 dBm

测试频率　10 M～50 GHz；10 M～145 GHz@1480～1620 nm 定制

RIN 测量最小值　−160 dB/Hz@20 GHz；−156 dB/Hz@50 GHz

光调制输入幅度　0.7 MAX mWpp（需 OMA 选件）

光调制度测量精度　5%（需 OMA 选件）

接口　输入 FC/PC，射频输出 2.4 mm

供电与体积　220±22 V AC 50／60 Hz；47.6×14.1×36.0 cm，<12 kg

图3　GP-RT100 RIN 测试仪：兼容国外及国产主流信号分析仪，RIN 测试频率最高 50 GHz（图源：讯速信远）

两台仪器摆在一起，位置很清楚：LWM100 给做激光器的人看线宽与相位噪声，RT100 给做模块的人看强度噪声，两者都卡在激光器出厂前的最后一道表征上。十一块业务里，代理来的光谱仪、源表解决「测得准」，自研的这两台解决「测得到」——后者买不到，也等不起。

041.6T 光眼图：八个环节

400G／800G／1.6T 的测试方案在业内已经收敛成一套固定打法：误码仪打码、时钟恢复提时钟、夹具与高频线把信号送进器件、光衰减调功率、高低温箱跑环境、光开关切换通道、采样示波器看眼图、光谱仪盯波长。讯速信远把这套链路做成了下面这张图：

图4　1.6T／800G／400G 光眼图测试方案：从误码仪、时钟恢复到光开关、采样示波器与光谱分析（图源：讯速信远）

图上的型号按环节拆开，是这样对应的：

误码仪　PBT3058（1.6T）／PBT8812（800G）／PBT8856（400G）

时钟恢复　53 Gbaud／120 Gbaud 两档

夹具与线缆　QSFP-DD 测试板、1×8 与 2×8 排插高频线

光衰减　AT4204／AT4304

光开关　MU940x 多通道光开关

采样示波器　DCA1065（112 Gbaud）／DCA6201（53 Gbaud）

光谱分析　AQ6370 系列／AQ6360 系列

环境与工装　高低温循环箱、热流仪、Fixture 与 DUT 夹具

这套方案的价值不在单机指标，而在「配得齐」。1.6T 的链路里任何一环缺货，整条测试线就动不了——代理与自研混着做，本质上就是在补这个「齐」字。

05光谱仪：六个型号铺满波段

讯速信远是 Yokogawa 在中国境内的金牌代理商。AQ63xx 系列可提供 350～5500 nm 范围的光谱测量，波长精度 ±5 pm，六个型号的区别主要在波段：

AQ6373E　350–1200 nm

AQ6374E　350–1750 nm

AQ6370E　600–1700 nm

AQ6375E　1000–2500 nm

AQ6376E　1500–3400 nm

AQ6377　1900–5500 nm

图5　Yokogawa AQ6373E／6374E／6370E／6375E／6376E／6377 六款光谱分析仪，波段从 350 nm 覆盖到 5500 nm（图源：讯速信远）

选型顺序建议反着来：先按被测器件的波长圈定候选，再比动态范围与分辨率。可见光到近红外由 AQ6373E 从 350 nm 起管，通信波段落在 AQ6370E，再往上进中红外，要 AQ6375E／AQ6376E／AQ6377 才够得着。波段选错的代价，是后面所有参数都没有意义。

06源表：十二型号，1 fA 起

高精度源表分两种形态：台式 9 款、PXIe 模块 3 款。通道从 1 走到 24，电压分 ±200 V 与 ±60 V 两档，电流最大到 10 A 脉冲：

S2036H　双通道　±200 V/±1 A（脉冲 3 A）

S2035H　单通道　±200 V/±1 A（脉冲 3 A）

S2024H　24 通道　±4.5 V/±10 mA（脉宽 ≥100 μs）

S2025H　单通道　±200 V/±1 A（脉冲 3 A）

S2026H　双通道　±200 V/±1 A（脉冲 3 A）

S2027H　单通道　±60 V/±3 A（脉冲 10 A）

S2028H　双通道　±60 V/±3 A（脉冲 10 A）

S3012H　单通道·标准　±200 V/±3 A（脉冲 10 A）

S3022F　双通道·标准　±200 V/±3 A（脉冲 10 A）

S2011C　PXIe 单通道　±60 V/±3 A（脉冲 10 A）

S2012C　PXIe 单通道·高分辨率　±200 V/±1 A（脉冲 3 A）

S2014C　PXIe 12 通道　±4.5 V/±10 mA

分辨率按档位分三组，最细做到 1 fA／100 nV：S2035H、S2036H 与 S2024H 为 1 fA 档；S2025H、S2026H 与 S2012C 为 10 fA 档；S2027H、S2028H、S3012H、S3022F、S2011C 为 100 fA 档；S2014C 为 1 pA／1 μV。

三个维度决定了这张表的用法：分辨率三档、耐压两档、通道从 1 到 24。一台机器同时想要极高分辨率和几十安培脉冲是不现实的，所以这个系列把两头都做了——一头对着实验室的器件表征，一头对着产线的多站点并测。通常这两条路的产品不会放在同一个系列里。

07硅光晶圆与探针测试

硅光晶圆测试系统用于晶圆级的自动测试，由探针台、耦合模组、测试模组与自动控制软件组成，走的是「高测量精度 + 高重复性」这条路。硬指标如下：

晶圆尺寸　支持 6～8 英寸

芯片厚度　200～1000 μm

温度　常高温测试，最高 150℃，其他温度可定制

耦合　针对不同类型芯片兼容不同角度入光，支持多路输入多路输出

自动化　自动上下片、自动水平扫描定位、自动耦合对准，测试数据可存储与分析

图6　硅光晶圆测试系统：探针台、耦合模组、测试模组与自动控制软件四部分（图源：讯速信远）

再往下是芯片级的探针测试方案，与微组装段的封测设备接在一起，构成从晶圆到模块的完整一段。硅光测试难在「光要进得去、电要测得准」——多角度耦合与自动对准这两项，决定了这套系统是能跑量产，还是只能做样品。

08开放实验室与服务网络

2022 年建的两个开放封装实验室，设备清单从贴片一路排到 X 射线检测，微组装的全流程工艺都能走通：

贴片　打线　共晶　推拉力测试

耦合　平行封焊　密封检漏　X 射线检测

图7　两个开放封装实验室内部：封测间、洁净间与操作台（图源：讯速信远）

开放实验室的用处有两层。对学校和初创团队，它是「不买设备也能打样」的地方，科研和小批量打样可以按单走；对公司自己，它是客户第一次上手摸到设备的地方——微组装这套东西，说服力全在能不能当场打出一根合格的线。

目前公司有 50 余名员工，技术支持与售后服务团队分开建制，本地化服务靠前面提到的八个城市的分支机构与常驻人员承接。

成都　青羊区光耀三路 青羊光电子信息产业园 A3 栋

苏州　高新区嘉陵江路 198 号 太湖光子科技园 11 幢 401

电话　028-85957437　18382435575

网址　www.sufastech.cn

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