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该产品具备百兆赫兹级高速高通量电子束图像采集速度、高速高精度高可靠性的实时自动聚焦能力和多样化功能齐全的量测算法，单点量测时间（MAM）和重复量测精度都达到了国际同类产品的先进水平
超大范围的电子束流和量测视场的调节能力，可满足从微米小视
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eMetric Series 电子束关键尺寸量测设备系列|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
eMetric Series 电子束关键尺寸量测设备系列
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
产品简介
产品具有包括扫描电子显微镜在内的核心零部件的全部自主知识产权。该产品具备百兆赫兹级高速高通量电子束图像采集速度、高速高精度高可靠性的实时自动聚焦能力和多样化功能齐全的量测算法，单点量测时间（MAM）和重复量测精度都达到了国际同类产品的先进水平。超大范围的电子束流和量测视场的调节能力，可满足从微米小视场到百微米级大视场的截然不同的量测需求。同时，为提高量测速率专门设计的高度灵活的智慧型量测点寻址功能（Smart Addressing），可在保证量测点定位精度的同时最大程度地提高设备吞吐量。凭借先进的成像技术和高度自动化的对多层级目标尺寸的在线量测能力，eMetric Series将为半导体制程提供高效的解决方案。
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• eMetric Series 电子束关键尺寸量测设备系列 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
武汉精测电子集团股份有限公司 · onetest 仪器资源库
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eMetric Series 电子束关键尺寸量测设备系列 详细指标
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武汉精测官网 www.wuhanjingce.com 产品页与官方产品手册，采集于 2026-10-22
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