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基于白光光谱干涉原理的、快速、非接触、无损的薄膜厚度测量设备
它通过分析从薄膜表面和膜层/基底界面反射回来的白光形成的干涉光谱，精确计算出薄膜的物理厚度
该设备以其测量速度快、操作简便、成本效益高的特点，成为半导体、光电显示、光学镀膜、科研实验等领域进行薄膜质量控制的理想工具
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反射式膜厚仪|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
反射式膜厚仪
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
产品简介
基于白光光谱干涉原理的、快速、非接触、无损的薄膜厚度测量设备。它通过分析从薄膜表面和膜层/基底界面反射回来的白光形成的干涉光谱，精确计算出薄膜的物理厚度。该设备以其测量速度快、操作简便、成本效益高的特点，成为半导体、光电显示、光学镀膜、科研实验等领域进行薄膜质量控制的理想工具。
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• 反射式膜厚仪 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
反射式膜厚仪 详细指标
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武汉精测官网 www.wuhanjingce.com 产品页与官方产品手册，采集于 2026-10-22
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