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HY-EPS 电镀电源|航裕电源 (在产)

支持 DC、脉冲、脉冲反向三种输出模式

双通道独立可调且通道间输出隔离

上升/下降时间 <30μs(实测 26.2μs / 21.2μs)

正负电流脉冲 29.2μs / 29.3μs

高精度恒流控制,专为电化学沉积工艺设计

参考价格 :
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系统与解决方案

航裕电源|航裕电源系统(上海)有限公司
HY-EPS 电镀电源
产品简介
电镀电源是电镀工艺的核心设备,将交流电精准转换为可控直流电,其输出的电压与电流直接决定镀层的均匀性、致密性及结合强度。
本系列产品专为电化学沉积工艺设计,可提供高稳定性电流,并具备多通道独立控制功能,支持同时调控多个阳极与晶圆(阴极)之间的沉积过程,实现多个产品同步处理,显著提升生产效率和资源利用率。
电镀电源,输出低纹波直流电,用于半导体与精密电镀工艺。
核心参数
• 实测上升时间:26.2457μs
• 实测下降时间:21.23μs
• 正电流脉冲:29.2μs
• 负电流脉冲:29.3μs
• 正负电流脉冲(同电流):25μs
• 正负电流脉冲(不同电流):29.6μs
资源下载
• HY-EPS 电镀电源 的全部技术指标已单独整理,见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自航裕电源(HYPOWER)官网该产品详情页与官方产品资料,未标注口径的为厂家公布值。
航裕电源|航裕电源系统(上海)有限公司 · onetest 仪器资源库

 

 

航裕电源|航裕电源系统(上海)有限公司
HY-EPS 电镀电源 详细指标
详细指标
参数为航裕电源公开标称值;选件与定制项以订货时厂家确认为准。
实测性能
• 实测上升时间26.2457μs
• 实测下降时间21.23μs
• 正电流脉冲29.2μs
• 负电流脉冲29.3μs
• 正负电流脉冲(同电流)25μs
• 正负电流脉冲(不同电流)29.6μs
• ➀ 电压回读显示区域
• ➁ 电流回读显示区域
• ➂ 功率回读显示区域
• ➃ 电压设定值
• ➄ 电流设定值
• ➅ 当前时间/累计运行时间/本次运行时间
• ➆ 通道开启/关闭切换键
• ➇ CC显示(恒流模式标识)
型号与选件
• HY-PLD系列 可编程线性直流电源:0-300V · 0-500A · 100W-10kW
• HY-PM系列 可编程多功能直流电源:0-1500V · 0-1500A · 1kW-15kW
• HY-PW系列 可编程宽范围直流电源:0-2250V · 0-510A · 5kW/10kW/15kW
• HY-S-G系列 1U半宽可编程大功率直流电源:0V~600V · 0~150A · 1kW~1.5kW
• HY-UHS系列 超高稳磁铁电源:0-1500V · 0.1A-50kA · 1kW-1MW
• HY-Z系列 便携式可编程直流电源:10V-650V · 0-72A · 200W-800W
资源下载
以上规格取自航裕电源官网该产品页与产品手册,型号与选件一栏为同系列各型号的官网标称电压/电流/功率范围。
航裕电源|航裕电源系统(上海)有限公司 · onetest 仪器资源库

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• 咨询电话 17821300907


• 售前邮箱 Sales@hypower.cn


• 售后邮箱 assd@hypower.cn


• 市场邮箱 market@hypower.cn


• 传真 021-67285228-8009


• 地址 上海市松江区民益路1698号11栋B座


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