客服
WLBI3810 晶圆级老化系统（晶圆级老化系统） WLBI3810属于晶圆级老化系统类别
联讯仪器WLBI3810晶圆级老化系统是一款专为碳化硅（SiC），氮化镓（GaN）晶圆设计的高端老化测试设备，具备高效、精准的测试能力
该系统可同时对9片晶圆进行高温栅极偏压（HTGB）和高温反向偏压（HTRB）老化测试，测试时间范围从数分钟至数千小时，灵活适应不同产品的老化需求
设备集成了全自动上下料系统，采用三卡塞设计，支持无缝切换，并具备自动切换老化条件的功能，确保测试过程的高效性和连续性
ONETEST 欢迎您
厂商登录 | 入驻
登录 | 注册 购物车 微信公众号厂商登录
类似产品
D-HTFB双极性测试系统是针对SiC MOSFET体二极管双极退化机理自主研发的高加速可靠性测试解决方案设备集大电流脉冲源、高精度静态参数测量与动态结温控制于一体，系统基于动态高温正向偏压测试原理，通过向被测器件施加重复性的大电流双极脉冲，精准激发并量化体二极管的堆层错扩展导致的性能退化
JHP560专为第三代功率半导体设计的动态可靠性测试系统（DHTGB/DHTRB），核心功能是通过大容量、高性能测试（宽电压、高频、高dv/dt），对栅氧缺陷、界面态劣化、材料缺陷等引发的早期失效进行高效评估与筛选，从而提升器件可靠性和良率
JHP550专为碳化硅（SiC）器件苛刻测试要求而设计的高精度、高效率、高可靠性测试解决方案，针对碳化硅MOSFET的栅极氧化层，通过监测栅极-漏电流的变化，评估器件在高温、高电场条件下的长期稳定性和可靠性
同厂商产品
WLBI3800 晶圆级老化系统（晶圆级老化系统） WLBI3800属于晶圆级老化系统类别WLBI3800晶圆级老化系统是一款高端专业的碳化硅晶圆老化测试设备，能够同时对3片晶圆进行高温栅极偏压(HTGB)老化和高温反向偏压(HTRB)老化，老化测试时间范围广泛，从数分钟到数十小时，甚至可扩展至数千小时，可满足不同产品的老化需求
WLBI370B 晶圆级老化系统（晶圆级老化系统） WLBI370B属于晶圆级老化系统类别联讯仪器WLBI370B晶圆级老化系统是一款高产出，全自动化的晶圆级老化设备该系统可同时对15片晶圆进行高温栅极偏压（HTGB）和高温反向偏压（HTRB）老化测试，并支持在RB老化过程中对栅极（Gate）施加负压，测试时间范围从数分钟至数千小时，灵活适应不同产品的老化需求
WLBI370A 晶圆级老化系统（晶圆级老化系统） WLBI370A属于晶圆级老化系统类别联讯仪器 WLBI370A 晶圆级老化系统是一款全自动化集成的碳化硅晶圆老化测试设备具备超高的老化产能，能够同时对20片晶圆进行高温栅极偏压(HTGB)老化可以根据不同产品的老化需求，设置老化条件可对每个Die阈值电压(Vth)进行精确测试系统的每个通道配备了独立的过流保护功能，可确保被测器件的安全系统可与客户EAP对接，实现生产数据的管理系统自动生成MAP数据，以便用户进行深入的性能分析和质量控制
WLBI3810 9片SiC/GaN晶圆级老化系统|联讯仪器 (在产)
产品描述
详细指标
软件和手册|白皮书
购买渠道
选件
问大家
视频
测评
口碑
系统与解决方案
联讯仪器 Semight
晶圆级老化系统 WLBI3810
联讯仪器WLBI3810晶圆级老化系统是一款专为碳化硅（SiC），氮化镓（GaN）晶圆设计的高端老化测试设备，具备高效、精准的测试能力。
产品简介
联讯仪器WLBI3810晶圆级老化系统是一款专为碳化硅（SiC），氮化镓（GaN）晶圆设计的高端老化测试设备，具备高效、精准的测试能力。该系统可同时对9片晶圆进行高温栅极偏压（HTGB）和高温反向偏压（HTRB）老化测试，测试时间范围从数分钟至数千小时，灵活适应不同产品的老化需求。设备集成了全自动上下料系统，采用三卡塞设计，支持无缝切换，并具备自动切换老化条件的功能，确保测试过程的高效性和连续性。
核心参数
• 自动化上下料：支持晶圆的全自动上料和下料
• 高精度定位：针痕重复定位精度达到±25μm
• 系统功能丰富：支持高密度探针卡以及高压Chuck
• 多模式老化：系统支持 HTGB 与 HTRB 模式的自动切换
• 漏电配置扫描：Igss与Idss漏电配置可扫描
• 集成测试功能：集成Vth参数测试
• 高精度漏电流测试：最高精度漏电流分辨率可以达到0.1nA
• 温度控制：温度均匀性≤±2℃，准确性≤1℃，分辨率0.1℃
功能与优势
• 整机最多可适配9个老化工位，每工位可以老化一片wafer，且每工位电路独立控制可以实现不同工位工作在不同模式，可以通过调用老化Plan进行不同的老化验证。
WLBI3810（RB+GB）系统配置如下：
• 序号 机型名称 产品描述 参数 1 晶圆级老化系统上料机 WLBI3810-AL - 支持晶圆上料、下料全自动 - 可适配SMIF对接客户的天车系统 - 自动获取卡塞内晶圆状态 - Wafer ID读取 - 晶圆抚平 2 晶圆级老化系统搬运机1 WLBI3810-H1 - 实现晶圆在上料机和老化机1～3层之间的晶圆转运 3 晶圆级老化系统搬运机2 WLBI3810-H2 - 实现晶圆在上料机和老化机4～9层之间的晶圆转运 4 晶圆级老化系统老化机 WLBI3810-M - 包含系统老化机柜及其自动化部分。 - 6&8寸晶圆 - 温度RT～175℃ - 温度均匀性≤±2℃，准确性≤1℃，分辨率0.1℃ - 支持针痕重复性≤±25μm - 支持氮气保护，防止高压打火和Pad氧化 备注：HTGB+HTRB：满配9工位 5 晶圆级老化系统单层 WLBI3810-L - 高精度漏电流测试，最高精度漏电流分辨率可以到0.1nA - 支持Map数据绑定，数据可追溯 - HTGB与HTRB自动可切换，并在RB老化过程中对Gate极施加负压 - Igss与Idss漏电配置可扫描 - 集成Vth参数测试 - 灵活配置老化计划 - 支持SECS/GEM通讯接口 - 软件支持本地数据和数据库上传，支持EAP对接 - 支持CP MAP数据导入 - 支持在线编辑测试Recipe - 软件支持三级权限管理和多账号管理 - 1年免费维护 备注：HTGB+HTRB满配9工位 6 晶圆级老化系统夹具 WLBI3810-F - 支持6&8寸晶圆 - 针对SiC晶圆老化：HTGB+HTRB - 夹具最大耐压2000V（根据单个Die尺寸大小不同可能影响夹具最大耐压） - Full Touch, 一次老化所有Die，最高2112个Die（2560 Die需要定制）
典型应用场景
面向晶圆级老化、可靠性验证等应用场景。
• 晶圆级老化
• 可靠性验证
资源下载
• WLBI3810 详细指标见本页「详细指标」标签页。
注：以上内容与指标取自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册。
联讯仪器 · onetest 仪器资源库
联讯仪器 Semight
晶圆级老化系统 WLBI3810 详细指标
联讯仪器WLBI3810晶圆级老化系统是一款专为碳化硅（SiC），氮化镓（GaN）晶圆设计的高端老化测试设备，具备高效、精准的测试能力。
产品简介
联讯仪器WLBI3810晶圆级老化系统是一款专为碳化硅（SiC），氮化镓（GaN）晶圆设计的高端老化测试设备，具备高效、精准的测试能力。该系统可同时对9片晶圆进行高温栅极偏压（HTGB）和高温反向偏压（HTRB）老化测试，测试时间范围从数分钟至数千小时，灵活适应不同产品的老化需求。设备集成了全自动上下料系统，采用三卡塞设计，支持无缝切换，并具备自动切换老化条件的功能，确保测试过程的高效性和连续性。
技术指标
该型号官网未附独立规格表，以下为官方产品页公布的参数与特性指标。
产品特点
• 自动化上下料：支持晶圆的全自动上料和下料，减少人工干预，提高老化效率和准确性
• 高精度定位：针痕重复定位精度达到±25μm
• 系统功能丰富：支持高密度探针卡以及高压Chuck，最高可支持一次同时老化2560个Die
• 多模式老化：系统支持 HTGB 与 HTRB 模式的自动切换，并在 RB 老化过程中对 Gate 极施加负压，可满足多样化的老化测试需求
• 漏电配置扫描：Igss与Idss漏电配置可扫描
• 集成测试功能：集成Vth参数测试
• 高精度漏电流测试：最高精度漏电流分辨率可以达到0.1nA，最高漏电流精度0.5nA
• 温度控制：温度均匀性≤±2℃，准确性≤1℃，分辨率0.1℃
功能与优势
• 整机最多可适配9个老化工位，每工位可以老化一片wafer，且每工位电路独立控制可以实现不同工位工作在不同模式，可以通过调用老化Plan进行不同的老化验证。
资源下载
• WLBI3810 产品介绍见本页「产品介绍」标签页。
说明
以上指标摘自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册；若与随机文件不一致，以随箱文件为准。
联讯仪器 · onetest 仪器资源库
全部
联讯仪器|苏州联讯仪器股份有限公司官方渠道
官方渠道（官网 / 热线 / 邮箱）
• 服务热线 0512-68784483
• 电子邮箱 sales@semight.com
• 地址 江苏省苏州市高新区泰山路315号
• 官网 cn.semight.com
• 技术支持 / 售后
丁雨洁 0512-68784483 customer_service@semight.com
全国办事处
• 武汉子公司 武汉市东湖技术开发区九峰一路1号生物创新园二期I期A16
• 日本子公司
〒135-0063 东京都江东区有明3-7-18 有明セントラルタワー6階
• 新加坡子公司
10 Science Park Road, #2-11 The Alpha, Science Park II, Singapore 117684
• 韩国子公司
Bucheon-ro 314, F1, Wonmi-gu, Bucheon-city, Gyeonggi-do, South Korea, Zip 14487
• 美国子公司
47787 Fremont Blvd, Fremont, CA 94538
• 泰国子公司
60/125 Moo.19 (A13-A14), Khlong Nueng, Thailand
0条提问
X
提问
X
回答
暂无视频
0条口碑
X
发表口碑
粤公网安备44030902003758