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可配置的功率半导体测试平台家族（MT100／MT200），静态测试可达 10kV／10kA、动态测试可达 6kV／18kA，按 IEC／JEDEC 标准覆盖 DC、AC 与 SCT
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MT Family 功率半导体测试系统 10kV/18kA|爱德万测试 (在产)
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爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MT Family 功率半导体测试系统 10kV/18kA
可配置功率半导体测试平台 · 静态 10kV/10kA · 动态 6kV/18kA · 覆盖晶圆到模块
产品简介
MT System 是一套可配置的测试设备，用于验证功率半导体的静态与动态参数，覆盖 IGBT、MOSFET、DIODE、THYRISTOR 以及最新的宽禁带器件技术（SiC、GaN 等）。特定测试机配置与量程可完整覆盖各类器件拓扑，静态测试可达 10kV-10kA，动态测试可达 6kV-18kA。
MT 测试机家族能够覆盖全部生产阶段：晶圆分选测试、单颗 Die 测试（KGD）、基板（DBC／AMB）测试，以及从分立器件到复杂模块的封装元件测试。
官方定位：可配置功率半导体测试平台 · 静态 10kV/10kA · 动态 6kV/18kA · 覆盖晶圆到模块
核心参数
• 静态测试：最高 10kV／10kA
• 动态测试（SCT）：最高 6kV／18kA
• 覆盖器件：IGBT、MOSFET、DIODE、THYRISTOR、SiC、GaN
• 测试类型：DC、AC 与 SCT，可按国际标准（IEC、JEDEC）执行
• 配置方式：可仅做 DC 或 AC（SCT），也可组合配置单机完成全部测试
• 生产阶段：晶圆分选、单颗 Die（KGD）、基板（DBC／AMB）、封装元件与复杂模块
• 主要型号：MT100、MT200
完整生产阶段覆盖
• 晶圆分选测试需求
• 单颗 Die 测试需求（KGD）
• 基板（DBC／AMB）测试
• 封装元件，从分立器件到复杂模块
全测试覆盖
• DC、AC 与 SCT 测试按国际标准（IEC、JEDEC）执行
• 定制测试机配置允许只做 DC 或只做 AC（SCT），或组合配置一次完成全部
高压大电流能力
• 最高 10kV 发生器
• 最高 18kA 电流能力
• 满足工业、汽车、新能源、轨道交通与电网等细分市场需求
典型应用场景
• 宽禁带功率器件（SiC／GaN）参数验证
• IGBT／MOSFET 模块静态与动态测试
• KGD 单颗 Die 筛选
• DBC／AMB 基板测试
• 工业、汽车、新能源、轨道交通与电网领域的功率器件测试
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 MT Family 详细指标页
onetest仪器资源库 · 爱德万测试 MT Family
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MT Family · 详细指标
可配置功率半导体测试平台 · 静态 10kV/10kA · 动态 6kV/18kA · 覆盖晶圆到模块
产品简介
可配置的功率半导体测试平台家族（MT100／MT200），静态测试可达 10kV／10kA、动态测试可达 6kV／18kA，按 IEC／JEDEC 标准覆盖 DC、AC 与 SCT。
官方定位：可配置功率半导体测试平台 · 静态 10kV/10kA · 动态 6kV/18kA · 覆盖晶圆到模块
核心规格
• 静态测试：最高 10kV／10kA
• 动态测试（SCT）：最高 6kV／18kA
• 覆盖器件：IGBT、MOSFET、DIODE、THYRISTOR、SiC、GaN
• 测试类型：DC、AC 与 SCT，可按国际标准（IEC、JEDEC）执行
• 配置方式：可仅做 DC 或 AC（SCT），也可组合配置单机完成全部测试
• 生产阶段：晶圆分选、单颗 Die（KGD）、基板（DBC／AMB）、封装元件与复杂模块
• 主要型号：MT100、MT200
完整生产阶段覆盖
• 晶圆分选测试需求
• 单颗 Die 测试需求（KGD）
• 基板（DBC／AMB）测试
• 封装元件，从分立器件到复杂模块
全测试覆盖
• DC、AC 与 SCT 测试按国际标准（IEC、JEDEC）执行
• 定制测试机配置允许只做 DC 或只做 AC（SCT），或组合配置一次完成全部
高压大电流能力
• 最高 10kV 发生器
• 最高 18kA 电流能力
• 满足工业、汽车、新能源、轨道交通与电网等细分市场需求
典型应用场景
• 宽禁带功率器件（SiC／GaN）参数验证
• IGBT／MOSFET 模块静态与动态测试
• KGD 单颗 Die 筛选
• DBC／AMB 基板测试
• 工业、汽车、新能源、轨道交通与电网领域的功率器件测试
官方产品页指标原文
• Up to 10kV generators, combined with up to 18kA current capability satisfy all the specific market requirements: industrial, automotive, renewal energy, railway and power grid.
• 2800 V - 800 A
• 2800 V - 200 A
• 2800 V - 6000 A
• 10 kV - 1000 A
• 10 kV - 6000 A
• 2800 V - 3000 A
• 10 kV - 9000 A
• 4500 V - 1000 A (2000 A)
• 1500V - 4000 A (6000 A)
• Incorporates CREA LSI™ technology to minimize stray inductance to below 20 nH
注：以上指标按爱德万测试中国站产品页与其公开手册整理，未特别说明者为厂商标称值；如官网与手册冲突以厂商最新发布为准。
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