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首个从晶圆一直覆盖到复杂功率模块的统一功率半导体测试平台，单机替代多台老旧测试机，支持 SiC／GaN 与 IPM／IPD，短路测试可达 10kA
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EXAVIS 功率半导体统一测试平台|爱德万测试 (在产)
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系统与解决方案
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
EXAVIS 功率半导体统一测试平台
晶圆到功率模块全流程统一平台 · 动态与短路测试至 10kA · 分布式计算架构高并行
产品简介
EXAVIS 是首个覆盖从晶圆到复杂装配模块全部功率半导体测试需求的统一测试平台。它以先进技术实现显著的占地面积缩减与优化的资源分配，同时不牺牲性能，是 IDM 与 OSAT 厂商的关键赋能者。
平台可应对宽禁带半导体（碳化硅 SiC、氮化镓 GaN）带来的挑战，也支持功率器件上集成数字 IP 核（智能功率模块 IPM、集成式功率器件 IPD），提供高带宽捕获仪器、同类最佳栅极驱动控制、最高 10kA 的动态（含短路）测试，以及灵活的高压数字能力。
官方定位：晶圆到功率模块全流程统一平台 · 动态与短路测试至 10kA · 分布式计算架构高并行
核心参数
• 覆盖范围：晶圆至高端功率模块测试
• 短路测试：AC 可扩展功率方案（ACSPS）支持最高 10kA
• 器件支持：SiC、GaN、IPM、IPD 及传统功率器件
• 测试类型：DC 与 AC 功率测试，高电流与高电压兼备
• 架构：模块化机架，分布式计算，支持并行顺序与交替测试，全数字同步
• 仪器：高带宽捕获仪器、高速数字化仪、浮动探头
• 自动化：面向交钥匙自动化设计，兼容多种分选机／探针台
• 软件：支持与机器无关的测试开发、仿真与调试
统一功率测试平台
• 用单一可扩展系统替代多台遗留测试机
• 同时支持 DC 与 AC 功率测试，具备高电流与高电压能力
模块化与可扩展架构
• 模块化机架允许灵活且可升级的配置
• 支持并行顺序与交替测试，具备完整数字同步能力
• 分布式计算架构带来显著的多站点测试效率
软件与测试效率
• EXAVIS 软件支持与机器无关的测试开发、仿真与调试
• 软件技术优化测试机资源分配，提供最佳测试效率
高集成与紧凑占地
• 相比传统方案显著缩减占地面积
• 面向交钥匙自动化设计，兼容各种分选机与探针台
先进测试能力
• ACSPS 支持最高 10kA 短路测试
• 面向 SiC 与 GaN 器件测试的高速数字化仪与浮动探头
• 可配置数字资源以满足 IPM 测试需求
典型应用场景
• SiC／GaN 宽禁带功率器件测试
• 智能功率模块（IPM）与集成式功率器件（IPD）测试
• 晶圆级功率器件测试与 KGD 筛选
• 高端功率模块动态与短路测试
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 EXAVIS 详细指标页
onetest仪器资源库 · 爱德万测试 EXAVIS
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
EXAVIS · 详细指标
晶圆到功率模块全流程统一平台 · 动态与短路测试至 10kA · 分布式计算架构高并行
产品简介
首个从晶圆一直覆盖到复杂功率模块的统一功率半导体测试平台，单机替代多台老旧测试机，支持 SiC／GaN 与 IPM／IPD，短路测试可达 10kA。
官方定位：晶圆到功率模块全流程统一平台 · 动态与短路测试至 10kA · 分布式计算架构高并行
核心规格
• 覆盖范围：晶圆至高端功率模块测试
• 短路测试：AC 可扩展功率方案（ACSPS）支持最高 10kA
• 器件支持：SiC、GaN、IPM、IPD 及传统功率器件
• 测试类型：DC 与 AC 功率测试，高电流与高电压兼备
• 架构：模块化机架，分布式计算，支持并行顺序与交替测试，全数字同步
• 仪器：高带宽捕获仪器、高速数字化仪、浮动探头
• 自动化：面向交钥匙自动化设计，兼容多种分选机／探针台
• 软件：支持与机器无关的测试开发、仿真与调试
统一功率测试平台
• 用单一可扩展系统替代多台遗留测试机
• 同时支持 DC 与 AC 功率测试，具备高电流与高电压能力
模块化与可扩展架构
• 模块化机架允许灵活且可升级的配置
• 支持并行顺序与交替测试，具备完整数字同步能力
• 分布式计算架构带来显著的多站点测试效率
软件与测试效率
• EXAVIS 软件支持与机器无关的测试开发、仿真与调试
• 软件技术优化测试机资源分配，提供最佳测试效率
高集成与紧凑占地
• 相比传统方案显著缩减占地面积
• 面向交钥匙自动化设计，兼容各种分选机与探针台
先进测试能力
• ACSPS 支持最高 10kA 短路测试
• 面向 SiC 与 GaN 器件测试的高速数字化仪与浮动探头
• 可配置数字资源以满足 IPM 测试需求
典型应用场景
• SiC／GaN 宽禁带功率器件测试
• 智能功率模块（IPM）与集成式功率器件（IPD）测试
• 晶圆级功率器件测试与 KGD 筛选
• 高端功率模块动态与短路测试
官方产品页指标原文
• AC Scalable Power Solution (ACSPS) supports up to 10kA short-circuit testing.
• 400 mm / 19.7"
• 650 mm / 25.6"
• 800 mm / 31.5"
• 730 mm / 28.7"
• 500 mm / 15.7"
• 850 mm / 33.6"
• 780 mm / 30.7"
• 250 mm / 9.8"
• 610 mm / 24.0"
• 950 mm / 37.4"
注：以上指标按爱德万测试中国站产品页与其公开手册整理，未特别说明者为厂商标称值；如官网与手册冲突以厂商最新发布为准。
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