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    台式紧凑型高压电源，输出极性可由面板旋钮切换可在运行中安全切换正负极性型号 EJ-1R200：0 至 +1 kV / 0 至 -1 kV、0 至 200 mA型号 EJ-1.5R133：0 至 ±1.5 kV、0 至 133 mA；EJ-2R100：0 至 ±2 kV、0 至 100 mA输入：100 至 240 Vac 单相，50/60 Hz控制：面板 10 圈电位器本地设定，模拟远程控制电压
    台式双通道高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck）设计双极性高压输出，正负电压连续可调输入：24 Vdc ±5%（22.8 至 25.2 Vdc）控制：面板设定旋钮本地调节，模拟远程控制电压适合与吸盘本体就近安装，缩短高压走线
    机架式双输出高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck）设计响应速度快，两路输出可独立设定型号 ECA-1B6×2：0 至 ±1 kV、6 mA，双通道，输入电流 1 A型号 ECA-1B30×2：0 至 ±1 kV、30 mA，双通道，输入电流 3 A输入：85 至 264 Vac 单相，50/60 Hz控制：每通道面板 10 圈电位器本地设定
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    EC 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    机架式双通道高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck）设计

    两个输出通道，可分别设定吸附与释放电压

    型号 EC-1R200×2：0 至 ±1 kV、200 mA

    型号 EC-3R67×2：0 至 ±3 kV、67 mA；EC-5R40×2：0 至 ±5 kV、40 mA

    输入：115 Vac ±10%（103.5 至 126.5 Vac）单相，50/60 Hz

    控制：每通道面板 10 圈电位器本地设定

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录2330个产品）

    产地：日本

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    产品描述
    详细指标
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    系统与解决方案

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    EC 静电吸盘电源

    Models ｜Output · 0 to ±1 kV；200 mA · 0 to ±3 kV；67 mA · 0 to ±5 kV；40 mA
    Models ｜Output
    0 to ±1 kV；200 mA
    EC-1R200 x 2
    0 to ±3 kV；67 mA
    EC-3R67 x 2
    0 to ±5 kV；40 mA
    EC-5R40 x 2
    0 to ±6 kV；33 mA
    EC-6R33 x 2
    0 to ±10 kV；20 mA
    EC-10R20 x 2
    产品定位

    The EC series is a high-voltage power supply specifically designed for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It features two output channels,

    allowing a single unit to support both unipolar and bipolar systems. The polarity reversal function ensures smooth wafer release. With a voltage range from ±1 kV to ±10 kV,

    the series is compatible with both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.

    核心参数
    · ：Models ｜Output
    · ：Voltage (each channel)；Current (each channel)
    · EC-1R200 x 2：0 to ±1 kV；200 mA
    · EC-3R67 x 2：0 to ±3 kV；67 mA
    · EC-5R40 x 2：0 to ±5 kV；40 mA
    · EC-6R33 x 2：0 to ±6 kV；33 mA
    · EC-10R20 x 2：0 to ±10 kV；20 mA
    ·
    – Standard 115 V input ｜CABLE TYPE1 ｜125 V / 10 A ｜2.5 meters Fixed length
    · Standard -L(220V)/-L(230V) option
    – CABLE TYPE3
    – 250 V / 10 A
    – 2.5 meters Fixed length
    · Standard [6 kV and 10 kV models]
    – CN-BNC-HVPP (5) *：CN-15-MHVP (5) *
    – MHV connectors on both ends：Flying lead
    – Standard is "5 meters".：Standard is "5 meters".
    功能与特点
    · Optimized for Electrostatic Chuck (E-Chuck/ESC) applications
    · Dual-channel output: Supports bipolar systems with a single unit
    · Reversible output: Polarity reversal function enables smooth wafer release
    · Smooth release of the wafer with polarity reverse function
    · Compact design with high power
    典型应用
    · 实验室供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 EC-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    EC 静电吸盘电源 · 详细指标

    Models ｜Output · 0 to ±1 kV；200 mA · 0 to ±3 kV；67 mA · 0 to ±5 kV；40 mA
    产品简介

    The EC series is a high-voltage power supply specifically designed for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It features two output channels,

    allowing a single unit to support both unipolar and bipolar systems. The polarity reversal function ensures smooth wafer release. With a voltage range from ±1 kV to ±10 kV,

    完整技术指标
    · ：Models ｜Output
    · ：Voltage (each channel)；Current (each channel)
    · EC-1R200 x 2：0 to ±1 kV；200 mA
    · EC-3R67 x 2：0 to ±3 kV；67 mA
    · EC-5R40 x 2：0 to ±5 kV；40 mA
    · EC-6R33 x 2：0 to ±6 kV；33 mA
    · EC-10R20 x 2：0 to ±10 kV；20 mA
    ·
    – Standard 115 V input ｜CABLE TYPE1 ｜125 V / 10 A ｜2.5 meters Fixed length
    · Standard -L(220V)/-L(230V) option
    – CABLE TYPE3
    – 250 V / 10 A
    – 2.5 meters Fixed length
    · Standard [6 kV and 10 kV models]
    – CN-BNC-HVPP (5) *：CN-15-MHVP (5) *
    – MHV connectors on both ends：Flying lead
    – Standard is "5 meters".：Standard is "5 meters".
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

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    松田精密官方渠道


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    • 销售模式

    Matsusada Precision Inc. 全球直销，不设授权代理商（官方 FAQ 明示 direct sales system）


    • 全球咨询　+81-6-6150-5088


    • 传真　+81-6-6150-5089


    • 在线询价

    https://www.matsusada.com/support/contact/


    • 官网　https://www.matsusada.com/


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