ONETEST 欢迎您

厂商登录 | 入驻

登录 | 注册 购物车 微信公众号
仪器资源库

严选商城

搜索

AI问答与智能搜索
二维码
请完成安全验证
产品库 严选商城

    类似产品

    同厂商产品

    台式高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck/ESC）设计双极性输出，正负电压连续可调型号 EJC-1B6：-1 至 +1 kV、6 mA；EJC-1B30：-1 至 +1 kV、30 mA型号 EJC-2B3：-2 至 +2 kV、3 mA输入：85 至 264 Vac 单相，50/60 Hz控制：面板 10 圈电位器本地设定，模拟远程控制电压
    台式紧凑型高压电源，输出极性可由面板旋钮切换可在运行中安全切换正负极性型号 EJ-1R200：0 至 +1 kV / 0 至 -1 kV、0 至 200 mA型号 EJ-1.5R133：0 至 ±1.5 kV、0 至 133 mA；EJ-2R100：0 至 ±2 kV、0 至 100 mA输入：100 至 240 Vac 单相，50/60 Hz控制：面板 10 圈电位器本地设定，模拟远程控制电压
    台式双通道高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck）设计双极性高压输出，正负电压连续可调输入：24 Vdc ±5%（22.8 至 25.2 Vdc）控制：面板设定旋钮本地调节，模拟远程控制电压适合与吸盘本体就近安装，缩短高压走线
    • «
    • 1

    ECA 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    机架式双输出高压电源，专为静电吸盘（E-Chuck）设计

    响应速度快，两路输出可独立设定

    型号 ECA-1B6×2：0 至 ±1 kV、6 mA，双通道，输入电流 1 A

    型号 ECA-1B30×2：0 至 ±1 kV、30 mA，双通道，输入电流 3 A

    输入：85 至 264 Vac 单相，50/60 Hz

    控制：每通道面板 10 圈电位器本地设定

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录2330个产品）

    产地：日本

    点击访问厂家官网

    产品描述
    详细指标
    软件和手册|白皮书
    购买渠道
    选件
    问大家
    视频
    测评
    口碑
    系统与解决方案

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    ECA 静电吸盘电源

    Voltage；Current；Channel · 0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A · 30 mA；2 ch；3 A
    Voltage；Current；Channel
    0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    ECA-1B6 x 2
    30 mA；2 ch；3 A
    ECA-1B30 x 2
    0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    ECA-3B2 x 2
    10 mA；2 ch；3 A
    ECA-3B10 x 2
    0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    ECA-5B1 x 2
    产品定位

    The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control,

    with smooth release achieved through polarity reversal. The series supports both unipolar (2-channel) and bipolar systems,

    making it a versatile choice for various processes. Its wide output range of ±1 kV to ±10 kV ensures compatibility with both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.

    核心参数
    · ：Model ｜Output ｜Input Current (at AC115 V) max
    ·
    – Voltage
    – Current
    – Channel
    · ECA-1B6 x 2：0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    · ECA-1B30 x 2：30 mA；2 ch；3 A
    · ECA-3B2 x 2：0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    · ECA-3B10 x 2：10 mA；2 ch；3 A
    · ECA-5B1 x 2：0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-5B6 x 2：6 mA；2 ch；3 A
    · ECA-10B1 x 2：0 to ±10 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-10B0.5：0.5 mA；1 ch；1 A
    功能与特点
    · Specially designed for Electrostatic Chuck (E-Chuck, ESC) application
    · Dual output channels
    · Bipolar output
    · Built-in RF filter is available. (option)
    · Fast response (100 ms) with amplifier structure
    · Long life and high reliability due to relay-free polarity switching
    典型应用
    · 实验室供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 ECA-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    ECA 静电吸盘电源 · 详细指标

    Voltage；Current；Channel · 0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A · 30 mA；2 ch；3 A
    产品简介

    The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control,

    with smooth release achieved through polarity reversal. The series supports both unipolar (2-channel) and bipolar systems,

    完整技术指标
    · ：Model ｜Output ｜Input Current (at AC115 V) max
    ·
    – Voltage
    – Current
    – Channel
    · ECA-1B6 x 2：0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    · ECA-1B30 x 2：30 mA；2 ch；3 A
    · ECA-3B2 x 2：0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    · ECA-3B10 x 2：10 mA；2 ch；3 A
    · ECA-5B1 x 2：0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-5B6 x 2：6 mA；2 ch；3 A
    · ECA-10B1 x 2：0 to ±10 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-10B0.5：0.5 mA；1 ch；1 A
    · ECA-10B3：3 mA；1 ch；3 A
    ·
    – Standard 115 V input * ｜CABLE TYPE1 ｜125 V / 10 A ｜2.5 meters Fixed length
    · Standard [10 kV models]
    – CN-BNC-HVPP (5) *：CN-15-MHVP (5) *
    – MHV connector on both end：Flying lead
    – 5 meters：5 meters
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

    全部

     

    松田精密官方渠道


    官方渠道（官网 / 热线 / 邮箱）


    • 销售模式

    Matsusada Precision Inc. 全球直销，不设授权代理商（官方 FAQ 明示 direct sales system）


    • 全球咨询　+81-6-6150-5088


    • 传真　+81-6-6150-5089


    • 在线询价

    https://www.matsusada.com/support/contact/


    • 官网　https://www.matsusada.com/


    全国办事处


    美国办事处（北卡罗来纳）


    • 电话　+1 (704) 496-2644


    • 传真　+1 (704) 496-2643


     

    0条提问

    X

    提问

    X

    回答

    暂无视频

     

    0条口碑
    X

    发表口碑

    口碑标题
    上传图片

    ONETEST仪器资源库

    合作与收录

    联系电话：+86-755-23033660

    电子邮箱：info@onetest.cn

    Onetest仪器资源库

    公众号

    Onetest仪器资源库

    视频号

    Onetest仪器资源库

    bilibili

    Onetest仪器资源库

    小助手

    © 2026 Onetest仪器资源库 All Rights Reserved   粤ICP备17028186号-2      粤公网安备44030902003758

    AI问答