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机架式多路输出高压电源，面向扫描电镜（SEM）与电子束光刻
多通道高压输出，各通道独立设定
输入：85 至 264 Vac 单相，50/60 Hz
每路输出由面板旋转编码器与键盘设定
面向电子枪加速、透镜与偏转电极供电
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机架式多路高压电源，面向离子束应用（含聚焦离子束 FIB）多通道高压输出，各通道独立设定输入：85 至 264 Vac 单相，50/60 Hz每路输出由面板旋转编码器与键盘设定面向离子源、加速与聚焦电极的偏置供电
台式可编程高压电源，专为静电吸盘（ESC）设计双通道浮地输出，支持极性切换与强制接地内置晶圆监测系统，可判定吸附状态是否可靠电压范围宽，同时支持库仑型与 Johnsen-Rahbek 型静电吸盘选件 -LCm：每通道增加高灵敏电流监视（0 至 +10 V 对应额定电流 ±1/100）选件 -LCt：中心抽头偏置
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HEB Electron Beam 电源|松田精密 (在产)
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系统与解决方案
松田精密|Matsusada Precision Inc.
HEB 直流电源
Electron Beam Power Supply 8V / 5A
产品简介
HEB 是松田精密（Matsusada Precision）HEB 系列的一款直流电源，最大输出电压 8V，最大输出电流 5A。
The HEB series is a multi-output high-voltage power supply engineered specifically for scanning electron microscopes (SEM), e-beam lithography, and other electron gun applications. It integrates all necessary power sources-including acceleration voltage, filament, suppressor, extractor, and focus-into a single, compact enclosure.
Designed for high-resolution imaging and precise beam control, the HEB series delivers ultra-low ripple and exceptional stability. The system allows for flexible configuration; each floating output channel can be individually selected to meet specific user requirements. Additionally, the unit supports digital control via optical fiber isolation, ensuring safe and reliable operation in demanding research and industrial environments.
Equipped with standard features like digital control via an optical fiber link and comprehensive protection circuits, the HEB series supports both advanced control and safe operation. Backed by Matsusada Precision's renowned quality and reliability,this power supply is the ideal partner to enhance your R&D and improve your equipment's performance.
核心参数
• Ch. Name：Filament
• Reference level：Accelerator
• 输出电压：+2 V, +8 V, and so on
• 电流：3 A, 5 A
• 输入电压：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single-phase
• 输出电压控制：[Local] Rotary encoder and keypad on the front panel (each channel)
[Digital remote] Command
• -LFC：Filament (ch1) center common
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
HEB 直流电源 详细指标
Electron Beam Power Supply 8V / 5A
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 HEB 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• Ch. Name：Filament
• Reference level：Accelerator
• 输出电压：+2 V, +8 V, and so on
• 电流：3 A, 5 A
系列共用规格
• 输入电压：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single-phase
• 输出电压控制：[Local] Rotary encoder and keypad on the front panel (each channel)
[Digital remote] Command
• -LFC：Filament (ch1) center common
选件 / 附件
• -LFC：Filament (ch1) center common
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 HEB 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/high-voltage-power-supplies/rack-mount/heb/）。
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