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    • 1

    HECD 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    台式可编程高压电源，专为静电吸盘（ESC）设计

    双通道浮地输出，支持极性切换与强制接地

    内置晶圆监测系统，可判定吸附状态是否可靠

    电压范围宽，同时支持库仑型与 Johnsen-Rahbek 型静电吸盘

    选件 -LCm：每通道增加高灵敏电流监视（0 至 +10 V 对应额定电流 ±1/100）

    选件 -LCt：中心抽头偏置

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录2330个产品）

    产地：日本

    点击访问厂家官网

    产品描述
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    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    HECD 静电吸盘电源

    ±0.5 to ±7.5 kV · 1 to 20 mA
    产品定位

    The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications. It features dual-channel floating outputs with polarity switching and forced grounding capabilities. The integrated wafer monitoring system ensures reliable chucking status detection. With a wide voltage range,

    the HECD series supports both Coulombic and Johnsen-Rahbek type electrostatic chucks.

    核心参数
    ·
    – Model ｜Output ｜Output Response speed [typical] (-90%⇔+90% * 2 )
    ·
    – Voltage Max * 1 (each channel)；Current (each channel)
    · HECD-0.5B20×2：+0.5kV, -0.5kV；20 mA；10 ms
    · HECD-1B10×2：+1kV, -1kV；10 mA；10 ms
    · HECD-1.5B6×2：+1.5kV, -1.5kV；6 mA；15 ms
    · HECD-2B5×2：+2kV, -2kV；5 mA；20 ms
    · HECD-4B1×2：+4kV, -4kV；1 mA；40 ms
    · HECD-4B2.5×2：+4kV, -4kV；2.5 mA；40 ms
    · HECD-5B2×2：+5kV, -5kV；2 mA；60 ms
    · HECD-7.5B1.2×2：+7.5kV, -7.5kV；1.2 mA；90 ms
    功能与特点
    · Compact half-rack size design
    · Polarity reversal enables increased throughput with quick dechucking
    · Reliable chucking and release status detection via wafer sensor
    · Fast response due to amplifier architecture design (high reliability and long life with “non-relay polarity reverse” design).
    · Optional independent dual-channel control and center-tap voltage setting for versatile operation
    · Digital interface options: LAN, USB, RS-232C, or EtherCAT
    · Built-in 13.56 MHz RF filter
    · Selectable models optimized for various wafer sizes and applications
    典型应用
    · 器件供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 HECD-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    HECD 静电吸盘电源 · 详细指标

    ±0.5 to ±7.5 kV · 1 to 20 mA
    产品简介

    The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications. It features dual-channel floating outputs with polarity switching and forced grounding capabilities. The integrated wafer monitoring system ensures reliable chucking status detection. With a wide voltage range,

    the HECD series supports both Coulombic and Johnsen-Rahbek type electrostatic chucks.

    完整技术指标
    ·
    – Model ｜Output ｜Output Response speed [typical] (-90%⇔+90% * 2 )
    ·
    – Voltage Max * 1 (each channel)；Current (each channel)
    · HECD-0.5B20×2：+0.5kV, -0.5kV；20 mA；10 ms
    · HECD-1B10×2：+1kV, -1kV；10 mA；10 ms
    · HECD-1.5B6×2：+1.5kV, -1.5kV；6 mA；15 ms
    · HECD-2B5×2：+2kV, -2kV；5 mA；20 ms
    · HECD-4B1×2：+4kV, -4kV；1 mA；40 ms
    · HECD-4B2.5×2：+4kV, -4kV；2.5 mA；40 ms
    · HECD-5B2×2：+5kV, -5kV；2 mA；60 ms
    · HECD-7.5B1.2×2：+7.5kV, -7.5kV；1.2 mA；90 ms
    · ：Model ｜Output ｜Successor
    · ：Voltage；Current
    · HECD-0.5B10×2：+0.5kV, -0.5kV；10 mA；HECD-0.5B20×2
    · HECD-1B3×2：+1kV, -1kV；3 mA；HECD-1B10×2
    · HECD-1.5B2×2：+1.5kV, -1.5kV；2 mA；HECD-1.5B6×2
    · HECD-2B3×2：+2kV, -2kV；3 mA；HECD-2B5×2
    ·
    – Standard 0.5 kV to 5 kV model ｜CN-SHV-HVPP (5) (with SHV connector on both end) ｜5 meters *When -L(7m) option is selected, CN-SHV-HVPP(7) is applied.
    · Standard 7.5 kV model
    – CN-SHV7.5-HVPP (5) (with SHV connector on both end)；5 meters
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

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