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PWX是菊水（KIKUSUI）的薄型宽范围可编程直流电源系列，采用开关调整方式，以1U机架高度实现750W与1500W两档功率。同一台机器在额定功率内可覆盖宽范围的电压与电流组合，并支持主从并联与串联扩展。
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ECA-5B6×2 是松田精密（Matsusada Precision）ECA 系列的一款直流电源，最大输出电压 5V，最大输出电流 6mA。 Fast Response, Dual Output Rack Mount Power Supply The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications.
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ECA-3B2×2 3V/2mA直流电源|松田精密 (在产)
参考价格 ：
产品描述
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系统与解决方案
松田精密|Matsusada Precision Inc.
ECA-3B2×2 直流电源
Electrostatic Chuck power supply 3V / 2mA
产品简介
ECA-3B2×2 是松田精密（Matsusada Precision）ECA 系列的一款直流电源，最大输出电压 3V，最大输出电流 2mA。
Fast Response, Dual Output Rack Mount Power Supply
The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control, with smooth release achieved through polarity reversal. The series supports both unipolar (2-channel) and bipolar systems, making it a versatile choice for various processes. Its wide output range of ±1 kV to ±10 kV ensures compatibility with both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.
核心参数
• Output / Voltage：0 to ±3 kV
• Current：2 mA
• Channel：2 ch
• Input Current (at AC115 V) max：1 A
• Input voltage：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single phase
• Output Voltage Control：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel (for each channel)
[Analog remote] External control voltage -10 to +10 V
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
ECA-3B2×2 直流电源 详细指标
Electrostatic Chuck power supply 3V / 2mA
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 ECA 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• Output / Voltage：0 to ±3 kV
• Current：2 mA
• Channel：2 ch
• Input Current (at AC115 V) max：1 A
系列共用规格
• Input voltage：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single phase
• Output Voltage Control：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel (for each channel)
[Analog remote] External control voltage -10 to +10 V
选件 / 附件
• -LPo：Polarity change
Local: toggle switch
Remote: contact input (for each channel)
• -LRf(13.56M)：RF filter 13.56 MHz
• -LRf(500k)：RF filter 500 kHz
• -LRy：Output relay
Electrically disconnects the power supply from the load via remote control.
• -LVI：Output voltage-limiter
0% to 100% controllable with a front panel potentiometer.
• -L(7m)：High Voltage output cable 7m length x 2
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 ECA 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/rack-mount/eca/）。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
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