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ECU-2PN3(R) 2V/3mA直流电源|松田精密 (在产)
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系统与解决方案
松田精密|Matsusada Precision Inc.
ECU-2PN3(R) 直流电源
E-Chuck High Voltage Power Supply 2V / 3mA
产品简介
ECU-2PN3(R) 是松田精密（Matsusada Precision）ECU 系列的一款直流电源，最大输出电压 2V，最大输出电流 3mA。
Bipolar high-voltage output, dual-channel benchtop power supply
The ECU series is a compact high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It features dual-channel bipolar outputs with voltages ranging from ±0.5 kV to ±5 kV and power ratings from 2 W to 10 W.
Key features include reversible output polarity and a forced grounding function, ensuring smooth wafer clamping and release (de-chucking). An integrated RF filter protects the power supply from noise, while control options include local front-panel operation, analog remote, and RS-232C digital communication. The ECU series is ideal for applications requiring precise control of electrostatic chucks in semiconductor manufacturing and research environments.
核心参数
• Maximum Output / Voltage：0 to ±2 kV
• Current：3 mA
• Input voltage：24 Vdc ±5% (22.8 to 25.2 Vdc)
• Output voltage control：[Local] Setting knob on the front panel
[Analog remote] External control voltage 0 to 10 V
[Digital remote] Command
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
ECU-2PN3(R) 直流电源 详细指标
E-Chuck High Voltage Power Supply 2V / 3mA
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 ECU 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• Maximum Output / Voltage：0 to ±2 kV
• Current：3 mA
系列共用规格
• Input voltage：24 Vdc ±5% (22.8 to 25.2 Vdc)
• Output voltage control：[Local] Setting knob on the front panel
[Analog remote] External control voltage 0 to 10 V
[Digital remote] Command
选件 / 附件
• -L(7m)：High-voltage output cables with HV-BNC connectors on both ends, 7 meters in length (2 cables)
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 ECU 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/benchtop/ecu/）。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
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