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EJC-2B3 是松田精密（Matsusada Precision）EJC 系列的一款直流电源，最大输出电压 2V，最大输出电流 3mA。 The EJC series is a benchtop high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck/ESC) applications.
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EJC-1B30 1V/30mA直流电源|松田精密 (在产)
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松田精密|Matsusada Precision Inc.
EJC-1B30 直流电源
E-Chuck High Voltage Power Supply 1V / 30mA
产品简介
EJC-1B30 是松田精密（Matsusada Precision）EJC 系列的一款直流电源，最大输出电压 1V，最大输出电流 30mA。
The EJC series is a benchtop high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck/ESC) applications. Its bipolar output capability allows for smooth wafer release by reversing polarity, eliminating the need for mechanical relays. With a wide voltage range of ±1 kV to ±5 kV, the series supports both Coulomb and Johnsen-Rahbek force applications.
核心参数
• 输出电压：-1 to +1 kV
• 电流：30 mA
• 输入电压：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single-phase
• 输出电压控制：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel
[Analog remote] External control voltage -10 to +10 V
• -LB：Protective cover
For POWER switch and High Voltage switch
• -LPo：Polarity change
Local: toggle switch
Remote: contact input
• -LRf(13.56M)：RF filter 13.56 MHz
*Cannot be used together with -LRf(500k) option.
• -LRf(500k)：RF filter 500 kHz
*Cannot be used together with -LRf(13.56M) option.
• -LRy：Output relay
Function to separate PS and load electrically by remote control
• L(7m)：High voltage output cable 7 meters length x 2
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
EJC-1B30 直流电源 详细指标
E-Chuck High Voltage Power Supply 1V / 30mA
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 EJC 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• 输出电压：-1 to +1 kV
• 电流：30 mA
系列共用规格
• 输入电压：85 to 264 Vac, 50/60 Hz, Single-phase
• 输出电压控制：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel
[Analog remote] External control voltage -10 to +10 V
• -LB：Protective cover
For POWER switch and High Voltage switch
• -LPo：Polarity change
Local: toggle switch
Remote: contact input
• -LRf(13.56M)：RF filter 13.56 MHz
*Cannot be used together with -LRf(500k) option.
• -LRf(500k)：RF filter 500 kHz
*Cannot be used together with -LRf(13.56M) option.
• -LRy：Output relay
Function to separate PS and load electrically by remote control
• L(7m)：High voltage output cable 7 meters length x 2
选件 / 附件
• -LB：Protective cover
For POWER switch and High Voltage switch
• -LPo：Polarity change
Local: toggle switch
Remote: contact input
• -LRf(13.56M)：RF filter 13.56 MHz
*Cannot be used together with -LRf(500k) option.
• -LRf(500k)：RF filter 500 kHz
*Cannot be used together with -LRf(13.56M) option.
• -LRy：Output relay
Function to separate PS and load electrically by remote control
• L(7m)：High voltage output cable 7 meters length x 2
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 EJC 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/benchtop/ejc/）。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
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