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202A-40KV-NEG-PFC 是 TDK-Lambda（东电化兰达）ALE 系列（型 ALE-OEM）的一款高压直流电源，输出电压 40000Vdc，输出功率 2kW。ALE 系列是 TDK-Lambda 的高压电容器充电电源，输出电压覆盖 0～1.5kV / 3kV / 4kV / 6kV 等档位，采用封闭单体型（另有 1U～3U 机架安装机型），单相 180～254Vac 输入。除电容器充电应用外，也可作为连续直流高压电源使用；提供正/负极性输出与内置有源功率因数校正（PFC）选项。
202A-3KV-NEG-PFC 是 TDK-Lambda（东电化兰达）ALE 系列（型 ALE-OEM）的一款高压直流电源，输出电压 3000Vdc，输出功率 2kW。ALE 系列是 TDK-Lambda 的高压电容器充电电源，输出电压覆盖 0～1.5kV / 3kV / 4kV / 6kV 等档位，采用封闭单体型（另有 1U～3U 机架安装机型），单相 180～254Vac 输入。除电容器充电应用外，也可作为连续直流高压电源使用；提供正/负极性输出与内置有源功率因数校正（PFC）选项。
202A-20KV-POS-PFC 是 TDK-Lambda（东电化兰达）ALE 系列（型 ALE-OEM）的一款高压直流电源，输出电压 20000Vdc，输出功率 2kW。ALE 系列是 TDK-Lambda 的高压电容器充电电源，输出电压覆盖 0～1.5kV / 3kV / 4kV / 6kV 等档位，采用封闭单体型（另有 1U～3U 机架安装机型），单相 180～254Vac 输入。除电容器充电应用外，也可作为连续直流高压电源使用；提供正/负极性输出与内置有源功率因数校正（PFC）选项。
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HECD-4B1 是松田精密（Matsusada Precision）HECD 系列的一款直流电源，最大输出电压 4kV，最大输出电流 1mA。 The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications.
HECD-2B5 是松田精密（Matsusada Precision）HECD 系列的一款直流电源，最大输出电压 500V，最大输出电流 20mA。 The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications.
HECD-1B10 是松田精密（Matsusada Precision）HECD 系列的一款直流电源，最大输出电压 1kV，最大输出电流 10mA。 The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications.
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HECD-1.5B6 1.5kV/6mA直流电源|松田精密 (在产)
参考价格 ：
产品描述
详细指标
软件和手册|白皮书
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口碑
系统与解决方案
松田精密|Matsusada Precision Inc.
HECD-1.5B6 直流电源
ELECTROSTATIC CHUCK 直流电源 1.5kV / 6mA
产品简介
HECD-1.5B6 是松田精密（Matsusada Precision）HECD 系列的一款直流电源，最大输出电压 1.5kV，最大输出电流 6mA。
The HECD series is a programmable high-voltage power supply designed specifically for electrostatic chuck (ESC) applications. It features dual-channel floating outputs with polarity switching and forced grounding capabilities. The integrated wafer monitoring system ensures reliable chucking status detection. With a wide voltage range, the HECD series supports both Coulombic and Johnsen-Rahbek type electrostatic chucks.
核心参数
• Output / Voltage Max * 1 (each channel)：+1.5kV, -1.5kV
• Current (each channel)：6 mA
• Output Response speed [typical] (-90%⇔+90% * 2 )：15 ms
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
HECD-1.5B6 直流电源 详细指标
ELECTROSTATIC CHUCK 直流电源 1.5kV / 6mA
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 HECD 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• Output / Voltage Max * 1 (each channel)：+1.5kV, -1.5kV
• Current (each channel)：6 mA
• Output Response speed [typical] (-90%⇔+90% * 2 )：15 ms
选件 / 附件
• -LCm：Additional high-sensitivity current monitor (each Ch)
0 to +10 V / −1/100 of rated output current to +1/100 of rated output current
• -LCt：Center tap bias
The bias setting range is from 0 to ± rated voltage.
However, the maximum output voltage remains the same as the rated voltage.
• -LEc：Ether CAT interface
(LAN, USB, or RS-232C is unavailable.)
• -LSep：Two-channel independent controls
• -L(AC)：AC 100 V to 240 V, single-phase input
• -L(7m)：High-voltage output cables (7 meters long, 3 cables)
(2 cables provided when -LCt or -LSep is selected)
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 HECD 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/benchtop/hecd/）。
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• 销售模式
Matsusada Precision Inc. 全球直销，不设授权代理商（官方 FAQ 明示 direct sales system）
• 全球咨询 +81-6-6150-5088
• 传真 +81-6-6150-5089
• 在线询价
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