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EC-6R33×2 是松田精密（Matsusada Precision）EC 系列的一款直流电源，最大输出电压 6V，最大输出电流 33mA。 The EC series is a high-voltage power supply specifically designed for electrostatic chuck (E-Chuck) applications.
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EC-3R67×2 3V/67mA直流电源|松田精密 (在产)
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系统与解决方案
松田精密|Matsusada Precision Inc.
EC-3R67×2 直流电源
ELECTROSTATIC CHUCK HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY 3V / 67mA
产品简介
EC-3R67×2 是松田精密（Matsusada Precision）EC 系列的一款直流电源，最大输出电压 3V，最大输出电流 67mA。
The EC series is a high-voltage power supply specifically designed for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It features two output channels, allowing a single unit to support both unipolar and bipolar systems. The polarity reversal function ensures smooth wafer release. With a voltage range from ±1 kV to ±10 kV, the series is compatible with both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.
核心参数
• Output / Voltage (each channel)：0 to ±3 kV
• Current (each channel)：67 mA
• Input voltage：115 Vac ±10％ （103.5 to 126.5 Vac）, 50/60 Hz, Single-phase
• Output Voltage Control：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel (for each channel)
[Analog remote] External control voltage 0 to 10 V
资源下载
以上内容与指标均取自Matsusada Precision 官网产品页与官方数据手册，未标注口径的为厂家公布值。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
松田精密|Matsusada Precision Inc.
EC-3R67×2 直流电源 详细指标
ELECTROSTATIC CHUCK HIGH VOLTAGE POWER SUPPLY 3V / 67mA
详细指标
以下指标取自松田精密（Matsusada Precision）官网 EC 系列产品页的「Models / Specifications / Options / Dimensions」区块，其中「型号输出参数」为该型号在官方型号表中的原始列值；官方原文为英文，此处按原文保留。详细规格与测试条件以官方数据手册为准。
型号输出参数
• Output / Voltage (each channel)：0 to ±3 kV
• Current (each channel)：67 mA
系列共用规格
• Input voltage：115 Vac ±10％ （103.5 to 126.5 Vac）, 50/60 Hz, Single-phase
• Output Voltage Control：[Local] 10-turn potentiometer on the front panel (for each channel)
[Analog remote] External control voltage 0 to 10 V
选件 / 附件
• -LRf(500k)：RF filter: 500 kHz *
• -LRf(13.56M)：RF filter: 13.56 MHz *
• -LRy：Output relay: Function to separate PS and load electrically by remote control
• -L(220V)：200 Vac to 240 Vac single phase input
• -L(230V)：210 Vac to 250 Vac single phase input
• -L(7m)：High Voltage output cable 7 m length: 2
资源下载
以上规格取自松田精密（Matsusada Precision）官网 EC 系列产品页（https://www.matsusada.com/product/electrostatic-chuck-power-supplies/rack-mount/ec/）。
松田精密（Matsusada Precision） · onetest 仪器资源库
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