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EPROFILE FD/IM Series 光学关键尺寸量测设备系列|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
EPROFILE FD/IM Series 光学关键尺寸量测设备系列
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
产品简介
用于三维形貌量测系列专为先进半导体制造工艺开发，可精准表征FinFET器件、三维鳍式晶体管结构，以及垂直堆叠NAND闪存、DRAM存储单元等复杂三维结构的形貌参数。该系列产品深度融合光学干涉技术与自主研发的智能建模算法，首创实现纳米级结构的多维度同步解析，可精准监测栅极宽度、侧壁倾角、光刻胶/硬掩模层高等关键工艺参数，其三维形貌重构精度达亚纳米级，对工艺波动敏感度较传统设备提升3倍。
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• EPROFILE FD/IM Series 光学关键尺寸量测设备系列 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
武汉精测电子集团股份有限公司 · onetest 仪器资源库
武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
EPROFILE FD/IM Series 光学关键尺寸量测设备系列 详细指标
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
详细指标
厂家官网该产品页以图文介绍为主，未公布可结构化的参数表；本页不做推算，各项指标请以厂家资料为准。
武汉精测官网 www.wuhanjingce.com 产品页与官方产品手册，采集于 2026-10-22
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