应用于MEMS、Memory、RF、Power、 FOWLP、WLCSP、 Bumping、Chiplet等有图形晶圆检测
聚焦异物、显影不良、刮伤、变色、RDL、Gold Bump、Particle等表面缺陷检测,搭载高度灵活的分辨率探头、双照明系统方案、双工控服务器高性能64位操作系统,支持Co
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