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嵌入式伺服 2–3kHz
伺服精度 4nm
分辨率 0.02nm
防撞 XY 定位
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DTR 3000 XY定位转台 0.02nm分辨率 嵌入式伺服|Guzik (在产)
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系统与解决方案
Guzik Guzik Technical Enterprises
DTR 3000 XY定位转台 0.6至1.0nm 重复性
嵌入式伺服 2–3kHz · 伺服精度 4nm · 分辨率 0.02nm · NRRO 0.2–0.6nm · 防撞 XY 定位
产品简介
DTR 3000 转台是 DTR 测试系统的机械平台：X/Y 粗定位由直线电机驱动，微定位由压电元件在 X 向完成，WITE32 把道号与偏斜角换算成 X/Y 坐标。
配压电执行器卡匣时嵌入式伺服带宽 2–3kHz，伺服精度 4nm、分辨率 0.02nm，伺服模式下的道形重复性 0.6–1.0nm、NRRO 0.2–0.6nm（1σ，7200RPM 盘片实测）。
专利的防撞设计限定工作区在下半象限，参数填错时卡匣撞不到主轴与盘面。
核心参数
• 定位方式：X/Y 直线电机粗定位 + 压电微定位
• 嵌入式伺服带宽：2–3kHz（配压电执行器卡匣）
• 伺服精度：4nm（0.016µin），1σ
• 伺服分辨率：0.02nm（0.001µin），1σ
• 道形重复性：0.6–1.0nm（0.024–0.039µin）峰峰值偏差
• NRRO：0.2–0.6nm（0.008–0.024µin），1σ
• 线性标尺精度：±0.3nm（±0.012µin），2µm 周期玻璃标尺
• 盘片夹持：真空吸附 + 螺钉夹持
功能特性
• 两种定位模式
非伺服模式用玻璃线性标尺做压电闭环；
嵌入式伺服模式用道上写入的伺服突发做反馈，扇区采样率最高 50kHz。
后者能抵消温漂引起的定位误差，也压制地面传来的低频振动。
• 防撞工作区
V 形装头机构相对 X/Y 轴旋转 45°，机械限位把工作区限制在下半象限。
软件里把磁头几何或转台参数填错时，卡匣也不会撞上主轴与盘面。
• 线性标尺插值器
自研插值器把 2µm 周期玻璃标尺的测量精度做到 ±0.3nm。
定位精度最终由这把尺子决定，这比电机指标更靠前。
• 上下表面都能装头
磁头从上方装夹，朝上朝下均可；
配 Combloader 与磁头堆叠工装。
• 快速道间跳转：媒体扫描需要频繁跨道，转台支持快速 track-to-track seek。
资源下载
• DTR 3000 XY定位转台 0.6至1.0nm 重复性 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自Guzik（Guzik Technical Enterprises）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
Guzik Technical Enterprises · onetest 仪器资源库
Guzik Guzik Technical Enterprises
DTR 3000 XY定位转台 0.6至1.0nm 重复性 详细指标
嵌入式伺服 2–3kHz · 伺服精度 4nm · 分辨率 0.02nm · NRRO 0.2–0.6nm · 防撞 XY 定位
详细指标
以下参数取自 Guzik 官网 DTR 3000 Spinstand 产品页（2026 年 11 月读取），按原厂标称值记录，未做换算；标注为典型的数值原厂已注明依赖磁头与介质组合。
定位性能
• 嵌入式伺服带宽：2–3kHz（配压电执行器卡匣）
• 伺服精度：4nm / 0.016µin（1σ，需伺服改进包）
• 伺服分辨率：0.02nm / 0.001µin（1σ）
• 道形重复性：0.6–1.0nm / 0.024–0.039µin 峰峰值
• NRRO（伺服模式）：0.2–0.6nm / 0.008–0.024µin（1σ）
• 定位重复性：0.6–1.0nm（典型）
• 线性标尺：2µm 周期玻璃标尺，精度 ±0.3nm
机械
• 粗定位：X/Y 直线电机
• 微定位：压电元件，沿 X 轴
• 防撞设计：V 形装头机构旋转 45°，机械限位限定下半象限（US 7,061,235 B2）
• 盘片夹持：真空吸附与螺钉夹持
• 装头方向：上方装夹，朝上/朝下均可
• 工装：Combloader、磁头堆叠工装
模式与软件
• 定位模式：非伺服（线性标尺）/ 嵌入式伺服
• 扇区采样率：至 50kHz（20µs）
• 控制软件：WITE32（道号与偏斜角换算为 X/Y 坐标）
• 快速跨道：支持，供媒体扫描使用
资源下载
以上规格取自 Guzik Technical Enterprises 官网 DTR 3000 Spinstand 产品页与官方数据表（2026 年 11 月读取），按原厂标称值记录，未做换算。
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