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    Detects wafer holding status with precision. Minimizes wafer transfer errors and improves yield.
    浮地高压电源，面向飞行时间质谱（TOF-MS）探测器与微通道板（MCP）型号 MF-4PN1-30：输出 0 至 4 kV、1 mA，浮地电压 0 至 +30 kV / -30 kV，纹波 150 mVp-p浮地设计使高压输出可整体叠加在探测器电位上输入：24 Vdc输出由 0 至 10 Vdc 控制电压调节
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    MEC 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    静电吸盘（E-Chuck）专用可逆高压电源模块

    输出极性可翻转，便于吸附与释放

    型号 MEC-1R10：0 至 ±1 kV、10 mA；MEC-1.5R6.6：0 至 ±1.5 kV、6.6 mA

    型号 MEC-2R5：0 至 ±2 kV、5 mA；MEC-3R3.3：0 至 ±3 kV、3.3 mA

    输入：+24 Vdc ±1 Vdc（23 至 25 Vdc）

    输出控制：外部 0 至 5 V 控制电压；选件 -L(1m) 高压输出线 1 米

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录2330个产品）

    产地：日本

    点击访问厂家官网

    产品描述
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    系统与解决方案

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    MEC 静电吸盘电源

    Model ｜Output · Voltage；Current · 0 to ±1 kV；10 mA · 0 to ±1.5 kV；6.6 mA
    Model ｜Output
    Voltage；Current
    0 to ±1 kV；10 mA
    MEC-1R10
    0 to ±1.5 kV；6.6 mA
    MEC-1.5R6.6
    0 to ±2 kV；5 mA
    MEC-2R5
    0 to ±3 kV；3.3 mA
    MEC-3R3.3
    产品定位

    The MEC series is a reversible high-voltage power supply module designed specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. Its compact form factor ensures easy integration into industrial systems. The polarity reversing function facilitates smooth wafer release. With a broad lineup ranging from ±1 kV to ±10 kV,

    the series supports both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.

    核心参数
    · ：Model ｜Output
    · ：Voltage；Current
    · MEC-1R10：0 to ±1 kV；10 mA
    · MEC-1.5R6.6：0 to ±1.5 kV；6.6 mA
    · MEC-2R5：0 to ±2 kV；5 mA
    · MEC-3R3.3：0 to ±3 kV；3.3 mA
    · MEC-5R2：0 to ±5 kV；2 mA
    · MEC-10R1：0 to ±10 kV；1 mA
    功能与特点
    · Optimized for electrostatic chuck (E-Chuck) applications
    · Reversible output polarity for smooth wafer release
    · Remote control of output voltage and polarity switching
    · Equipped with output voltage and current monitors
    典型应用
    · 实验室供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 MEC-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    MEC 静电吸盘电源 · 详细指标

    Model ｜Output · Voltage；Current · 0 to ±1 kV；10 mA · 0 to ±1.5 kV；6.6 mA
    产品简介

    The MEC series is a reversible high-voltage power supply module designed specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. Its compact form factor ensures easy integration into industrial systems. The polarity reversing function facilitates smooth wafer release. With a broad lineup ranging from ±1 kV to ±10 kV,

    the series supports both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.

    完整技术指标
    · ：Model ｜Output
    · ：Voltage；Current
    · MEC-1R10：0 to ±1 kV；10 mA
    · MEC-1.5R6.6：0 to ±1.5 kV；6.6 mA
    · MEC-2R5：0 to ±2 kV；5 mA
    · MEC-3R3.3：0 to ±3 kV；3.3 mA
    · MEC-5R2：0 to ±5 kV；2 mA
    · MEC-10R1：0 to ±10 kV；1 mA
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

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