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AeroScan Series双束系统，集SEM和FIB于一体，两者的结合，在保留原有SEM超高分辨率和FIB优异的微纳加工能力的基础上，可以实现原位的微纳加工
其中，半导体领域为其最主要的应用领域之一，可用于IC芯片缺陷分析、修复和TEM样品制备
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iView/AeroScan Series FIB-SEM 分析及TEM样品制备系列|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
iView/AeroScan Series FIB-SEM 分析及TEM样品制备系列
晶圆量测/检测系统 · 晶圆检测系统
产品简介
AeroScan Series双束系统，集SEM和FIB于一体，两者的结合，在保留原有SEM超高分辨率和FIB优异的微纳加工能力的基础上，可以实现原位的微纳加工。其中，半导体领域为其最主要的应用领域之一，可用于IC芯片缺陷分析、修复和TEM样品制备。
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• iView/AeroScan Series FIB-SEM 分析及TEM样品制备系列 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
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