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WAT6200S 晶圆验收测试系统（集成电路测试系统） WAT6200S属于集成电路测试系统类别
联讯仪器 WAT6200S系列通用串行WAT测试系统，可以快速执行精确的直流测量、电容测量，以及其他高频应用，闪存测试等
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WAT6200S 串行晶圆验收测试系统|联讯仪器 (在产)
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系统与解决方案
联讯仪器 Semight
晶圆验收测试系统 WAT6200S
联讯仪器 WAT6200S系列通用串行WAT测试系统，可以快速执行精确的直流测量、电容测量，以及其他高频应用，闪存测试等。
产品简介
联讯仪器 WAT6200S系列通用串行WAT测试系统，可以快速执行精确的直流测量、电容测量，以及其他高频应用，闪存测试等。
核心参数
• 自研核心仪表：源表、高压脉冲源、低漏电开关矩阵
• 灵活配置Pin数：最多支持14通道输入、48路输出
• 精度高：精度可达1pA，系统漏电流＜1pA
• 软支持SECS/GEM：可接入客户EAP
• 集成GAL/DIAG/PV软件：用户测试日志可自定义
• 适配主流48pin圆形针卡：无额外成本替换已有测试系统
• 支持所有主流Prober：探针台高适配性
• 高适配、全兼容：兼容测试程序和Algo算法
系统配置
• WAT6200S系列型号 序号 型号 名称 描述 1 WAT6210S 通用串行WAT测试机 200V，1Adc，100nV/1fA，48Pin 2WAT6215S通用串行WAT测试机200V，1Adc，100nv/1fA，48Pin full kelvin，Cable Out
• WAT6200S系列系统配置
• 子类 描述 工作站及系统软件 Win10工作站，ptSemight测试软件 电容表 外购（可选配）： 1fF~100nF测量范围 电压表 外购（可选配）： 7位半以上分辨率 信号分析仪 外购（可选配）： 9K~10M频率范围 低漏电流开关矩阵 RM1010-LLC： 低漏电流开关矩阵主机，支持14通道输入，最高4张R1010G-LLC子卡插入并支持到48通道输出，独立专用Chuck输出 R1010G-LLC（可选配）： 低漏电流开关矩阵子卡，8通道输入12通道输出，200V，1A，<100fA@10V(低漏电流通道) PXIe机箱适配SMU，SPGU数量的PXIe机箱 源测量单元（SMU） S2012C（可选配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/10fA S2016C（可选配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/1fA 高压脉冲发生单元(SPGU) S3023P（可选配）： 占位2槽，±40V（Open）， ±20V（50Ω）
系统功能概述
• 测试目标 Si/GaN/SiC等电子器件的晶圆级WAT测试、WLR测试 测试项目（不限于） IV/CV Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm MIM_CAP，C & G Ic-Vc，BETA，BV Ron，R_tlm，Rsh_van Spot，Sweep，Search Kelvin & Non-Kelvin Differential Voltage 频率 Frequency 可靠性 HCI，BTI/NBTI，TDDB 直流测试 测试仪表 Semight S2012C，S2016C 测试功能 单点，扫描等 测试范围 S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V 电容测试 测试仪表 商用仪表 测试功能 C/G 测试频率 1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz 测试范围 1fF to 100nF 直流偏置 ±40 V 差分电压测试 测试仪表 商用仪表 测试范围 1µV to 100V 高速脉冲信号产生 信号发生器 Semight S3023P 信号幅度 ±40V（开路），±20V（50欧负载） 信号频率 0.1Hz to 10MHz 信号脉宽 60 ns to (脉冲周期 - 60 ns) 信号边沿 20 ns（Vamp < 5V，负载开路） 信号分析 分析仪表 商用仪表 频率范围 9K to 10M Hz 低漏电流开关矩阵 开关矩阵 Semight RM1010-LLC 输出通道 x12，x24，x36，x48 仪表接口 最高支持8端口同时输入，其中两端口支持电漏电流输入 最高14端口输入，包含两个四选一端口用于外部仪表的串行测试 两端口二选一输出到Chuck
典型应用场景
面向量产测试、芯片验证等应用场景。
• 量产测试
• 芯片验证
资源下载
• WAT6200S 详细指标见本页「详细指标」标签页。
注：以上内容与指标取自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册。
联讯仪器 · onetest 仪器资源库
联讯仪器 Semight
晶圆验收测试系统 WAT6200S 详细指标
联讯仪器 WAT6200S系列通用串行WAT测试系统，可以快速执行精确的直流测量、电容测量，以及其他高频应用，闪存测试等。
产品简介
联讯仪器 WAT6200S系列通用串行WAT测试系统，可以快速执行精确的直流测量、电容测量，以及其他高频应用，闪存测试等。
技术指标
该型号官网未附独立规格表，以下为官方产品页公布的参数与特性指标。
产品特点
• 自研核心仪表：源表、高压脉冲源、低漏电开关矩阵，均由联讯仪器自研，降低用户供应链的交付风险。
• 灵活配置Pin数：最多支持14通道输入、48路输出，独立Chuck输出，方便用户灵活配置，实现低成本迭代升级
• 精度高：精度可达1pA，系统漏电流＜1pA，可测量更低级别的漏电流参数
• 软支持SECS/GEM：可接入客户EAP，远程监控易操作，提升工作效率
• 集成GAL/DIAG/PV软件：用户测试日志可自定义，方便用户快速定位问题
• 适配主流48pin圆形针卡：无额外成本替换已有测试系统
• 支持所有主流Prober：探针台高适配性，TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL，TSK UF200/UF3000/UF3000EX等
• 高适配、全兼容：兼容测试程序和Algo算法，支持Python编程
资源下载
• WAT6200S 产品介绍见本页「产品介绍」标签页。
说明
以上指标摘自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册；若与随机文件不一致，以随箱文件为准。
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