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WAT6600 晶圆验收测试系统（集成电路测试系统） WAT6600属于集成电路测试系统类别
联讯仪器 WAT6600系列是通用并行WAT测试系统，支持48通道高性能Perpin SMU、Perpin PGU与Perpin FMU以及8通道外部仪表同时接入，可扩展更多测试资源
配合自主研发的并行执行软件环境，为客户提供更高效、更精准的并行测试系统
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WAT6600 48通道并行晶圆验收测试系统|联讯仪器 (在产)
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系统与解决方案
联讯仪器 Semight
晶圆验收测试系统 WAT6600
联讯仪器 WAT6600系列是通用并行WAT测试系统，支持48通道高性能Perpin SMU、Perpin PGU与Perpin FMU以及8通道外部仪表同时接入，可扩展更多测试资源。
产品简介
联讯仪器 WAT6600系列是通用并行WAT测试系统，支持48通道高性能Perpin SMU、Perpin PGU与Perpin FMU以及8通道外部仪表同时接入，可扩展更多测试资源。配合自主研发的并行执行软件环境，为客户提供更高效、更精准的并行测试系统。
核心参数
• 自研核心仪表：Perpin SMU/PGU/FMU
• 资源能力强：Perpin SMU输出能力200V max，1A max Perpin PGU输出能力±40V（开路）
• 灵活配置Pin数：最多支持48Pin全开尔文连接
• 高精度：精度可达1pA，系统漏电流＜500fA
• 适配主流48Pin圆形针卡：低成本串并测试转换
• 支持SECS/GEM：可接入客户EAP，
• 集成CAL/DIAG/PV软件：支持用户测试日志可自定义，
• 高适配、兼容度高：支持所有主流Prober
系统配置
• WAT6600系列型号 序号 型号 名称 描述 1 WAT6610 通用并行WAT测试机 Perpin SMU/PGU/FMU 200V，1Adc，100nV/1fA，Max 48Pins
• WAT6600系列系统配置
• 序号 系统大类 子类 描述 1 并行WAT测试系统机架 系统主机柜 包括机柜，EMO模块，电源分配单元 工作站及系统软件 Win10工作站，ptSemight测试软件 电容表 外购（可选配）： 1fF~100nF测量范围 电压表 外购（可选配）： 7位半以上分辨率 信号分析仪 外购（可选配）： 9K~20M频率范围 PXIe机箱 外购（可选配）： 适配SPGU数量 SPGU Semight（可选配）： 占位2槽，±40V（开路）， ±20V（50Ω） 2 并行WAT测试系统测试头 测试头主机 包括测试头主机机体，可配置Pinboard数量 Pinboard S2018G（选配，8 ~ 48通道+Chuck）： 每通道Pinboard包含Perpin SMU/PGU/FMU Perpin SMU: ±200V，±1A，100nV/1fA Perpin PGU: ±40V（开路） Perpin FMU:1 kHz ~ 30MHz 外部仪表接口 8通道BNC输入接口
系统功能概述
• 测试目标 电子器件的晶圆级WAT测试、WLR测试 测试项目（不限于） IV/CV Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm MIM_CAP，C & G Ic-Vc，BETA，BV Ron，R_tlm，Rsh_van Spot，Sweep，Search Kelvin & Non-Kelvin Differential Voltage 频率 Frequency 可靠性 HCI，BTI/NBTI，TDDB Perpin直流测试 测试仪表 Semight S2018G 测试功能 单点，扫描等 测试范围 S2018G：1fA to 1A 100nV to 200V Perpin高速脉冲信号产生 信号发生器 Semight S2018G 信号幅度 ±40V（开路） 信号频率 0.1Hz to 5MHz 信号脉宽 100 ns to (脉冲周期 – 100 ns) 最小边沿 100 ns Perpin频率测量 信号发生器 Semight S2018G 频率范围 1 kHz ~ 30 MHz 幅值范围 ±2.5 V 外部高速脉冲信号产生 信号发生器 Semight S3023P 信号幅度 ±40V（开路），±20V（50Ω负载） 信号频率 0.1Hz to 10MHz 信号脉宽 60 ns to (脉冲周期 - 60 ns) 信号边沿 20 ns（Vamp < 5V，负载开路） 电容测试 测试仪表 商用仪表 测试功能 C 测试频率 1kHz，10kHz，100kHz，1MHz 测试范围 1fF to 100nF 直流偏置 ±40 V 差分电压测试 测试仪表 商用仪表 测试范围 1µV to 100V 信号分析 分析仪表 商用仪表 频率范围 9 kHz to 20 MHz
典型应用场景
面向量产测试、芯片验证等应用场景。
• 量产测试
• 芯片验证
资源下载
• WAT6600 详细指标见本页「详细指标」标签页。
注：以上内容与指标取自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册。
联讯仪器 · onetest 仪器资源库
联讯仪器 Semight
晶圆验收测试系统 WAT6600 详细指标
联讯仪器 WAT6600系列是通用并行WAT测试系统，支持48通道高性能Perpin SMU、Perpin PGU与Perpin FMU以及8通道外部仪表同时接入，可扩展更多测试资源。
产品简介
联讯仪器 WAT6600系列是通用并行WAT测试系统，支持48通道高性能Perpin SMU、Perpin PGU与Perpin FMU以及8通道外部仪表同时接入，可扩展更多测试资源。配合自主研发的并行执行软件环境，为客户提供更高效、更精准的并行测试系统。
技术指标
该型号官网未附独立规格表，以下为官方产品页公布的参数与特性指标。
产品特点
• 自研核心仪表：Perpin SMU/PGU/FMU，降低用户供应链的交付风险
• Perpin SMU输出能力200V max，1A max Perpin PGU输出能力±40V（开路）
• Perpin FMU测量范围1 kHz～30 MHz
• 灵活配置Pin数：最多支持48Pin全开尔文连接
• 高精度：精度可达1pA，系统漏电流＜500fA，可测量更低级别的漏电流参数
• 适配主流48Pin圆形针卡：低成本串并测试转换
• 支持SECS/GEM：可接入客户EAP，，方便远程监控，提升工作效率
• 集成CAL/DIAG/PV软件：支持用户测试日志可自定义，，方便用户快速定位
• 高适配、兼容度高：支持所有主流Prober，(TEL P12XL/Precio XL，TSK AP3000/UF3000等)
资源下载
• WAT6600 产品介绍见本页「产品介绍」标签页。
说明
以上指标摘自苏州联讯仪器股份有限公司官网该产品详情页与官方数据手册；若与随机文件不一致，以随箱文件为准。
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