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针对 NAND／NVM 采用组合阵列架构的晶圆测试系统，每测试头并行 1024 器件、最多 1536 同测，支持 WLBI 与 BIST，节省高达 86% 占地面积。
T5221 非易失存储器晶圆测试系统 1152同测|爱德万测试 (在产)
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系统与解决方案
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
T5221 非易失存储器晶圆测试系统 1152同测
12 测试站集成探针台 · 1,152 同测 · 25MHz／50Mbps · 时序精度 ±4000ps
产品简介
T5221 是一款支持 NAND 闪存等非易失性存储器晶圆测试和晶圆老化测试的存储器测试系统，采用多晶圆探针台设计以减少测试场地占用空间。
系统集成了多达 12 个测试站于第三方多晶圆探针台内，每个测试站均具备独立测试能力，除系统控制器外无需额外占用空间。凭借大规模并行测试能力，可同时对多达 1,152 个器件进行晶圆级测试，吞吐量显著提升。
官方定位：12 测试站集成探针台 · 1,152 同测 · 25MHz／50Mbps · 时序精度 ±4000ps
核心参数
• 目标器件：NAND 闪存及其他非易失性存储器
• 并行测试：1,152
• 测试速度：25MHz／50Mbps
• 整体时序精度：±4,000ps
• 测试站：最多 12 个，集成于第三方多晶圆探针台
• 数据传输：更高传输速率以应对 3D NAND 数据量增长
• 软件：FutureSuite OS（兼容 ATL 与 MPAT）
空间利用优化
• 多晶圆探针台设计，减少测试场地占用
• 除系统控制器外无需额外占用空间
• 实现爱德万历史上非易失性存储器测试系统的合理空间利用
先进硬件与高速数据传输
• 针对 3D NAND 容量增长带来的测试数据量提升
• 更高数据传输速度，进一步缩短测试时间
兼容性保留
• 搭载 FutureSuite 操作系统，兼容 ATL 与 MPAT
• 与旧系统高度兼容，可从上一代设备无缝过渡
典型应用场景
• NAND 闪存晶圆测试
• 非易失性存储器晶圆老化测试
• 3D NAND 大容量器件量产测试
• 晶圆级并行筛选
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 T5221 详细指标页
onetest仪器资源库 · 爱德万测试 T5221
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
T5221 · 详细指标
12 测试站集成探针台 · 1,152 同测 · 25MHz／50Mbps · 时序精度 ±4000ps
产品简介
专为多晶圆探针台优化的 NAND 闪存测试系统，12 个测试站集成于第三方多晶圆探针台内，可同时对 1152 个器件做晶圆级测试。
官方定位：12 测试站集成探针台 · 1,152 同测 · 25MHz／50Mbps · 时序精度 ±4000ps
核心规格
• 目标器件：NAND 闪存及其他非易失性存储器
• 并行测试：1,152
• 测试速度：25MHz／50Mbps
• 整体时序精度：±4,000ps
• 测试站：最多 12 个，集成于第三方多晶圆探针台
• 数据传输：更高传输速率以应对 3D NAND 数据量增长
• 软件：FutureSuite OS（兼容 ATL 与 MPAT）
空间利用优化
• 多晶圆探针台设计，减少测试场地占用
• 除系统控制器外无需额外占用空间
• 实现爱德万历史上非易失性存储器测试系统的合理空间利用
先进硬件与高速数据传输
• 针对 3D NAND 容量增长带来的测试数据量提升
• 更高数据传输速度，进一步缩短测试时间
兼容性保留
• 搭载 FutureSuite 操作系统，兼容 ATL 与 MPAT
• 与旧系统高度兼容，可从上一代设备无缝过渡
典型应用场景
• NAND 闪存晶圆测试
• 非易失性存储器晶圆老化测试
• 3D NAND 大容量器件量产测试
• 晶圆级并行筛选
官方产品页指标原文
• 25MHz/50Mbps
• +/- 4,000ps
注：以上指标按爱德万测试中国站产品页与其公开手册整理，未特别说明者为厂商标称值；如官网与手册冲突以厂商最新发布为准。
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电话：+86-21-6163-0000
传真：+86-21-2028-7600
地址：上海市张江高科技园区华佗路 168 号 3 号楼 C 幢（邮编 201203）
网址：https://www.advantest.com/cn/
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