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BFI Series 明场光学缺陷检测设备（BFI，Bright Field Inspection）使用高亮度、宽光谱照明，宽光谱大NA物镜成像，延迟积分型（TDI，Time Delay Integration）图像传感器采集图像
通过对图像信号进行数字图像处理以识别和分类有图形晶圆上的缺陷及其特征
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BFI Series 明场光学缺陷检测设备系列|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
BFI Series 明场光学缺陷检测设备系列
晶圆量测/检测系统 · 晶圆检测系统
产品简介
BFI Series 明场光学缺陷检测设备（BFI，Bright Field Inspection）使用高亮度、宽光谱照明，宽光谱大NA物镜成像，延迟积分型（TDI，Time Delay Integration）图像传感器采集图像；通过对图像信号进行数字图像处理以识别和分类有图形晶圆上的缺陷及其特征。明场光学缺陷检测设备能够使用多种波段和多种光学模式对前道工艺制程的有图形晶圆开展检测，以实现不同工艺制程中的缺陷的快速识别与分类，从而指导工艺优化与控制，进而促进良率管理与提升。
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• BFI Series 明场光学缺陷检测设备系列 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
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BFI Series 明场光学缺陷检测设备系列 详细指标
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厂家官网该产品页以图文介绍为主，未公布可结构化的参数表；本页不做推算，各项指标请以厂家资料为准。
武汉精测官网 www.wuhanjingce.com 产品页与官方产品手册，采集于 2026-10-22
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