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OPAL-MD 多裸片测试台|EXFO (在产)
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EXFO · EXFO Inc.
OPAL-MD 多裸片测试台
波长范围 Visible · X Y axis 0.15 μm · Rz axis 36 arcsec; 0.01°
产品简介
Accurate, automated, fast testing of photonic integrated circuits (PIC) with traceable results.
核心参数
• 波长范围：Visible
• X Y axis - 分辨率（μm）：0.15 μm
• Rz axis - 精度：36 arcsec; 0.01°
• Z axis - 最高扫描速度（mm/s）：5
• 重量（kg）：350 kg (771.6 lb)
• 尺寸（高×宽×深）：1500 mm × 1095 mm × 945 mm (59 in × 43 1/8 in × 37 1/4 in)
• X Y axis - Travel range（mm）：100 mm
• X Y axis - Accuracy typical（μm）：1 μm
功能与特点
• Multi-die PIC characterization in one single execution
• Flexible design with reconfigurable probes
• Single software suite for preparation, execution and analysis of PIC test data
• Operates with EXFO optical component tester and other test equipment
• Ultra-precise optical heads – ideal for surface and edge-coupling
• Precise DC and RF probing positioners
典型应用
• Optical and electrical probing and testing of integrated photonics on multiple dies
• Opto-electronic testing on any integrated photonic platforms: silicon photonics, indium phosphide, III-V, polymer, heterogeneous, etc.
• Application-agnostic: telecom & datacom transceivers, quantum, LIDAR, sensors, AI, etc.
• Pilot production
• Design and process validation
• MPW die verification
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 OPAL-MD 多裸片测试台 详细指标页
onetest仪器资源库 · EXFO OPAL-MD 多裸片测试台
EXFO · EXFO Inc.
OPAL-MD 多裸片测试台 · 详细指标
波长范围 Visible · X Y axis 0.15 μm · Rz axis 36 arcsec; 0.01°
产品简介
Accurate, automated, fast testing of photonic integrated circuits (PIC) with traceable results.
本页按官方规格资料分组收录 OPAL-MD 多裸片测试台 的全部关键技术指标；产品定位、特性与应用场景请见 OPAL-MD 产品介绍页。
技术指标
技术规格
• A standard OPAL-MD test station includes：One OPAL-MD-100 chuck stage motion system, one TA chuck, a top and side vision system, PC with EXFO Pilot software license and accessories.
CHUCK STAGE MOTION SYSTEM – OPAL-MD-100 (Mechanical)
• X Y axis - Travel range（mm）：100 mm
• X Y axis - 分辨率（μm）：0.15 μm
• X Y axis - Accuracy typical（μm）：1 μm
• X Y axis - Bidirectional repeatability typical（μm）：1 μm
• X Y axis - Maximum process speed（mm/s）：20
• X Y axis - Motor type：Recirculating ball bearing, stepper motor
• Z axis - Travel range（mm）：4.8 mm
• Z axis - 分辨率（μm）：0.06 μm
• Z axis - Accuracy typical（μm）：0.6 μm
• Z axis - Bidirectional repeatability typical（μm）：0.1 μm
• Z axis - 最高扫描速度（mm/s）：5
• Z axis - Motor type：Linear ball bearings, DC motor
• Rz axis - Travel range：15°
• Rz axis - 分辨率：0.9 arcsec; 0.00025°
• Rz axis - 精度：36 arcsec; 0.01°
• Rz axis - Bidirectional repeatability：9 arcsec; 0.0025°
• Rz axis - 最高扫描速度（degree/s）：20
• Rz axis - Motor type：Crossed roller bearings, stepper motor
CHUCK
• Chuck - 选件名称：TA-F; TH1-G/F
• Chuck - Work area（mm）：100 × 100, square (TA-F and TH1-G/F) mm
• Chuck - Range（TA-F）：Ambient
• Chuck - Range（TH1-G/F）：Dew-point (>0 ºC) (32 ℉) 至 150 ºC (302 ℉)
• Chuck - 分辨率（TA-F）：-
• Chuck - 分辨率（TH1-G/F）：0.01 ℃ (32 ℉)
• Chuck - 稳定度（TA-F）：-
• Chuck - 稳定度（TH1-G/F）：0.05 ℃ (32 ℉)
• Chuck - Heating rate（TA-F）：-
• Chuck - Heating rate（TH1-G/F）：20 ℃/min (68 ℉/min)
• Chuck - Cooling rate（TA-F）：-
• Chuck - Cooling rate（TH1-G/F）：–10 ℃/min (14 ℉/min)
• Chuck - Vacuum zones（TA-F and TH1-G/F）：4 independent zones
• Chuck - Electrical connection（TA-F）：Floating (F)
• Chuck - Electrical connection（TH1-G/F）：Grounded (G)/Floating (F)
TOP VISION SYSTEM – Mechanical base holder
• 安装方式：Compatible with metric and imperial optical breadboard, at 90° and 45°
• X Y Z axis travel range（mm）：48 mm
• X Y axis displacement/revolution（mm）：1.41 mm
• Z 轴每转位移（mm）：0.3175 mm
TOP VISION SYSTEM – Vision system
• 放大倍率（X）：10
• 数值孔径：0.28
• Depth of field（μm）：3.6 μm
• Horizontal field of view（mm）：0.88 mm
• 工作距离（mm）：34 mm
• 分辨率（MP）：2.9
• 最高帧率（fps）：144
• 传感器规格（inch）：2/3
• 传感器类型：Color, global shutter, 12 bit
• 波长：Visible
• Illumination type：In-line through video microscope unit, LED illuminator
SIDE VISION SYSTEM – Mechanical base holder
• Mechanical positioning：6D manual coarse adjustment with articulated arm, XY manual translation stage
• 安装方式：Compatible with metric and imperial optical breadboard, at 90° and 45°
• X Y axis travel range（mm）：48 mm
• X Y axis displacement/revolution（mm）：1.41 mm
SIDE VISION SYSTEM – Vision system
• Lens type：Telecentric
• 放大倍率（X）：3
• 数值孔径：0.093
• Field of view（mm）：2.9 × 2.2 mm
• 工作距离（mm）：65 mm
• 波长范围：Visible
• 分辨率（MP）：2.9
• 最高帧率（fps）：144
• 传感器规格（inch）：2/3
• 传感器类型：Color, 12 bit, global shutter
• 波长：Visible
OPTICAL HEAD a – Options PRO-H / PRO-S / PRO-ECO
• Motorized axis（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：X, Y, Z, Rx, Ry, Rz / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz b / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz c
• 配置（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Parallel hexapod, piezo / Serial stack, DC servo / Serial stack, screw
• X axis travel (mm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：20 / 25 / 25 mm
• Y axis travel (mm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：11 / 25 / 25 mm
• Z 轴行程（mm）（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：20 / 4.8 / 12.5 mm
• X axis resolution (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：1 / 10 / 200 nm
• Y axis resolution (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：1 / 10 / 200 nm
• Z axis resolution (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：1 / 60 / 25 nm
• X axis repeatability (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 50 / Bidirectional: 70 / Bidirectional: 1250 nm
• Y axis repeatability (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 50 / Bidirectional: 70 / Bidirectional: 1250 nm
• Z axis repeatability (nm)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 50 / Bidirectional: 250 / Bidirectional: 125 nm
• Rx axis travel (º)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：23 / 10 / 10
• Ry axis travel (º)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：38 / 10 / 10
• Rz 轴行程（º）（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：26 / 10 / 10
• Rx axis resolution (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：0.04 / 4 / 4
• Ry axis resolution (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：0.04 / 4 / 4
• Rz axis resolution (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：0.04 / 4 / 4
• Rx axis repeatability (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 1.5 / 7 / 7
• Ry axis repeatability (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 1.5 / 7 / 7
• Rz axis repeatability (arcsec)（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Unidirectional: 1.5 / 7 / 7
• Full virtual pivot point（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Yes / No / No
• Orientations（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：North/East/South/West / North/East/South/West / North/East/South/West
• Included（PRO-H / PRO-S / PRO-ECO）：Fiber holder / Fiber holder / Fiber holder
ELECTRICAL HEAD – Options PRE-00 / PRE-MO
• Translation stages type（PRE-00 / PRE-MO）：Manual / Motorized X, Y, Z, manual probe angle
• X Y axis travel range (mm)（PRE-00 / PRE-MO）：48 / 50 mm
• Z axis travel range (mm)（PRE-00 / PRE-MO）：48 / 25 mm
• X Y Z axis resolution (nm)（PRE-00 / PRE-MO）：- / 100 nm
• X Y Z axis repeatability (μm)（PRE-00 / PRE-MO）：- / 1, bidirectional, typical: 0.3 μm
• X Y Z axis accuracy (μm)（PRE-00 / PRE-MO）：Typical: 2 / 5 μm
• X Y Z axis speed (mm/s)（PRE-00 / PRE-MO）：- / 5
• X Y Z axis displacement/revolution (mm/rev)（PRE-00 / PRE-MO）：0.3 / -
• Tilt travel（PRE-00 / PRE-MO）：10° / 10°
• Rail system X travel (mm)（PRE-00 / PRE-MO）：180 / 160 mm
• Z coarse step travel (mm)（PRE-00 / PRE-MO）：PRE-00: Min: 6.35; Max: 56 / PRE-MO: Min: 12.5; Max: 100 mm
a. Other temperature ranges available upon request. b. Custom vacuum patterns and zones available upon request. c. Generic and custom vacuum adaptator plates available upon request. d. Other electrical connection options available upon request. a. Other magnifications options (0.5X, 1X, 2x, 4X, 6X, 8X) available upon request. b. Other working distances options (40 mm, 110 mm) available upon request. a. Other optical options and configurations are available upon request. b. Various configurations are available. X, Y, Z are always motorized and angles can be motorized, up to all 6 axes. Specifications here are for all motorized axes, travel may differ for manual version. c. Multiple options are available for surface and edge coupling configuration, multiple angles available.
通用规格
GENERAL SPECIFICATIONS – MAIN SYSTEM
• 尺寸（高×宽×深）：1500 mm × 1095 mm × 945 mm (59 in × 43 1/8 in × 37 1/4 in)
• 重量（kg）：350 kg (771.6 lb)
• 工作环境：Use in a clean environment 至 avoid temperature variations, vibrations, humidity and dust
• 底座：Base frame with passive vibration isolation, canisters and feet
• Maximum number of electrical or optical heads：Up 至 4
• Optical breadboard：Grid of M6 threaded mounting holes, 25 mm hole spacing, black anodized for reduced reflections
• Workstation computer：4U rackmount industrial, Intel i7 CPU, 64 GB RAM DDR5, 1 TB SSD, Nvidia RTX 4060 GPU, 3 Ethernet ports (10 + 2.5 + 1 Gbit/s), multiple USB ports, additionnal PCIe slots, Windows 11 Pro, mouse and keyboard included
• 监测：1 × 27-inch
• Cables power supply drive controllers：All included
• Additional communication ports on base station for equipment：Ethernet Cat 6 RJ54, USB-A 3.0
Note: Use the system in a low-vibration environment. Excessive floor or acoustical vibration can negatively impact system performance. Although the base of the station includes a passive vibration isolation system, the expected vibration level for the operation of the OPAL-MD-100 should be equal to or below the VC-A vibration criteria curve for best performances, especially for edge-coupling alignment. The velocity should be below 50 μm/s, when measured by the one-third octave bands of frequency over 8 to 80 Hz. At this level, vibrations are not perceptible. Else, contact us for more information on an active vibration damping system. a. The exact mass of the main system depends on the selected configuration. b. Use the system in a controlled environment. Environmental temperature variations will degrade performance.
注：以上指标摘自 EXFO 官网公开产品规格资料，未特别说明均为典型值；指标可能随硬件与软件版本变化，恕不另行通知。官方规格书中以字母标注的脚注（测试条件）未在本页展开，完整条件请以原规格书为准。
onetest仪器资源库 · EXFO OPAL-MD 多裸片测试台 详细指标
全部
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官方渠道（官网 / 热线 / 邮箱）
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• 电话 +86-755-29553100
• EXFO 公司总部
400 Godin Avenue, Quebec, Quebec G1M 2K2, Canada
电话：+1 418-683-0211 免费电话：+1 800-663-3936
传真：+1 418-683-2170
• EXFO 协议业务部门（蒙特利尔）
2500 Boul. Alfred-Nobel, Saint-Laurent, Quebec H4S 0A9, Canada
电话：+1 514-856-2222 免费电话：+1 888-972-7666
• EXFO 芬兰
Elektroniikkatie 2, FI-90590 Oulu, Finland
电话：+358 (0) 403 010 300
• EXFO America Inc.
612 Spring Hill Drive, Suite 180, Spring, TX 77386-6045, USA
电话：+1 972-761-9271
• EXFO Europe Ltd.
Winchester House, School Lane, Chandlers Ford, SO53 4DG, UK
电话：+44-2380-246-800
• EXFO Asia Pacific PTE Ltd.
229 Mountbatten Road #02-26 Mountbatten Square, Singapore 398007
电话：+65-6333-8241
传真：+65-6333-8242
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0800-802-206
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邮箱：office@nts-tech.com 网址：www.nts-tech.com
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