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AX-50 光芯片AI缺陷检测系统|矽电 (在产)
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矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
AX-50 光芯片AI缺陷检测系统
晶圆检测系统 · 系统
产品简介
光芯片AI缺陷检测系统。主要面向PD、VCSEL。
核心参数
• 规格型号：AX-50
• 产品类别：晶圆检测系统
• 形态：系统
功能特性
• 多料盒自动上下片，支持4~6英寸，自动打墨点。
• 高速图像采集及并行处理，图像处理吞吐量 > 100张/秒。
• 融合注意力机制，聚焦关键区域，最小检测缺陷 < 0.5um。
• 支持背面检测功能，自动完成双面检测，结果自动合档。
• AI自适应分割技术，不同批次芯片保持一致的缺陷识别率。
• 可视化界面配置检测策略，调整卡控条件，管理样本库。
资源下载
• AX-50 光芯片AI缺陷检测系统 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自矽电半导体设备（深圳）股份有限公司官网（sidea.com）该产品详情页，未标注口径的为厂家公布值。
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 · onetest 仪器资源库
矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
AX-50 光芯片AI缺陷检测系统 详细指标
晶圆检测系统 · 系统
详细指标
矽电官网该产品页未提供技术参数表（页面无参数表、也无可下载的数据手册）。此处完整列出官网给出的功能与应用条目，平台不对指标作推测补全；如需完整规格，请向厂家索取正式数据手册。
功能特点
• 多料盒自动上下片，支持4~6英寸，自动打墨点。
• 高速图像采集及并行处理，图像处理吞吐量 > 100张/秒。
• 融合注意力机制，聚焦关键区域，最小检测缺陷 < 0.5um。
• 支持背面检测功能，自动完成双面检测，结果自动合档。
• AI自适应分割技术，不同批次芯片保持一致的缺陷识别率。
• 可视化界面配置检测策略，调整卡控条件，管理样本库。
应用领域
• PD、VCSEL
资源下载
矽电官网 sidea.com 该产品详情页（采集于 2026-10-22）所给出的功能与应用条目
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公司：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
电话：0755-28938875（业务专线）/ 0755-28957758
传真：0755-89724107
服务热线：400-8686-180
Email：sidea@sidea.com.cn
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