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AX-90 图形晶圆AI光学检测系统|矽电 (在产)

图形晶圆AI光学检测系统。8~12英寸图形晶圆。
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矽电|矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
AX-90 图形晶圆AI光学检测系统
晶圆检测系统 · 系统
产品简介
图形晶圆AI光学检测系统。主要面向8~12英寸图形晶圆。
核心参数
• 规格型号:AX-90
• 产品类别:晶圆检测系统
• 形态:系统
• 可测晶圆尺寸:12 英寸
功能特性
• 支持8~12英寸,配置两组上下片,双机械手交替作业。
• 高速自动对焦技术,实时预测晶圆表面不同区域的高度变化。
• 高速显微光学系统,并行图像处理,吞吐量>100张/秒。
• 融合注意力机制,亚微米级检测精度,最小检测缺陷 < 0.5um。
• 智能缺陷标注,一个AI模型支持多种芯片,持续学习增量训练。
• 100%采用AI,利用CUDA加速引擎,对图像块并行分析与计算。
资源下载
• AX-90 图形晶圆AI光学检测系统 的全部技术指标已单独整理,见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自矽电半导体设备(深圳)股份有限公司官网(sidea.com)该产品详情页,未标注口径的为厂家公布值。
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 · onetest 仪器资源库

 

 

矽电|矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
AX-90 图形晶圆AI光学检测系统 详细指标
晶圆检测系统 · 系统
详细指标
矽电官网该产品页未提供技术参数表(页面无参数表、也无可下载的数据手册)。此处完整列出官网给出的功能与应用条目,平台不对指标作推测补全;如需完整规格,请向厂家索取正式数据手册。
功能特点
• 支持8~12英寸,配置两组上下片,双机械手交替作业。
• 高速自动对焦技术,实时预测晶圆表面不同区域的高度变化。
• 高速显微光学系统,并行图像处理,吞吐量>100张/秒。
• 融合注意力机制,亚微米级检测精度,最小检测缺陷 < 0.5um。
• 智能缺陷标注,一个AI模型支持多种芯片,持续学习增量训练。
• 100%采用AI,利用CUDA加速引擎,对图像块并行分析与计算。
应用领域
• 8~12英寸图形晶圆
资源下载
矽电官网 sidea.com 该产品详情页(采集于 2026-10-22)所给出的功能与应用条目
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