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非常精准、可重复、可追溯、快速且灵活的光子集成电路（PIC）测试
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OPAL-SD 单裸片自动化探针台|EXFO (在产)
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系统与解决方案
EXFO · EXFO Inc.
OPAL-SD 单裸片自动化探针台
波长范围 Visible · 分辨率 TA: 0.01 ℃ (32 ℉); TCH: 0… · 重量 160 kg (352.7 lb)
产品简介
非常精准、可重复、可追溯、快速且灵活的光子集成电路（PIC）测试。
核心参数
• 波长范围：Visible
• 分辨率（TA; TCH）：TA: 0.01 ℃ (32 ℉); TCH: 0.01 ℃ (32 ℉)
• 重量（kg）：160 kg (352.7 lb)
• 尺寸（高×宽×深）：1219 mm × 914 mm × 945 mm (48 in × 36 in × 37 1/4 in)
• X Y axis travel（mm）：27 mm
• Z 轴行程（mm）：9 mm
• Rz 轴行程（degrees）：20
• X Y axis displacement/revolution（mm）：0.3175 mm
功能与特点
• 用于PIC测试和鉴定的研究级解决方案
• 灵活的设计与可重新配置的探针
• 用于测量自动化和数据处理的软件套件
• 超精密的光探针——尤其适用于表面和边缘耦合测试
• 高精度DC、RF手动探针定位器
典型应用
• 研发环境中的光子集成裸片测试
• PIC光学和电子鉴定
• 收发器光学子系统研发
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 OPAL-SD 单裸片自动化探针台 详细指标页
onetest仪器资源库 · EXFO OPAL-SD 单裸片自动化探针台
EXFO · EXFO Inc.
OPAL-SD 单裸片自动化探针台 · 详细指标
波长范围 Visible · 分辨率 TA: 0.01 ℃ (32 ℉); TCH: 0… · 重量 160 kg (352.7 lb)
产品简介
非常精准、可重复、可追溯、快速且灵活的光子集成电路（PIC）测试。
本页按官方规格资料分组收录 OPAL-SD 单裸片自动化探针台 的全部关键技术指标；产品定位、特性与应用场景请见 OPAL-SD 产品介绍页。
技术指标
技术规格
SINGLE-DIE BASE STAGE, 4-AXIS MANUAL
• X Y axis travel（mm）：27 mm
• Z 轴行程（mm）：9 mm
• Rz 轴行程（degrees）：20
• X Y axis displacement/revolution（mm）：0.3175 mm
• Z 轴每转位移（mm）：0.085 mm
• Rz axis displacement/revolution（degrees）：1.2
SPECIFICATIONS
• Standard OPAL-SD test station includes：one OPAL-SD chuck stage motion system, one TA chuck, a top and side vision system, PC with PILOT software license and accessories.
CHUCK
• 选件名称：TA; TCH
• Sample area（TA; TCH）：TA: 50 × 50 mm2; TCH: 50 × 50 mm2
• Range（TA; TCH）：TA: Room temperature; TCH: 0 ℃ 至 120 ℃ (32 ℉ 至 248 ℉)
• 分辨率（TA; TCH）：TA: 0.01 ℃ (32 ℉); TCH: 0.01 ℃ (32 ℉)
• 稳定度（TA; TCH）：TA: 0.05 ℃ (32 ℉); TCH: 0.05 ℃ (32 ℉)
• Heating rate（TA; TCH）：TA: 40 ℃/min (68 ℉/min); TCH: 40 ℃/min (68 ℉/min)
• Cooling rate（TA; TCH）：TA: –15 ℃/min (14 ℉/min); TCH: –15 ℃/min (14 ℉/min)
• Vacuum zones（TA; TCH）：TA: 1 zone, electronically controlled; TCH: 3 custom vacuum zones, electrically controlled
• Electrical surface：Electrical surface grounded (triaxial as option)
OPTICAL HEAD
• 选件名称：PRO-P60; PRO-P40
• Motorized axis（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: X, Y, Z, Rx, Ry, Rz; PRO-P40: X, Y, Z, Ry (pitch)
• Manual axis：Rx (yaw), Rz (roll)
• Motor type（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: Piezo, hexapod; PRO-P40: X, Y, Z: DC servo; Ry: stepper
• X axis travel (mm)（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 20; PRO-P40: 25 mm
• Y axis travel (mm)（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 11; PRO-P40: 25 mm
• Z 轴行程（mm）（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 20; PRO-P40: 4.8 mm
• X axis resolution (nm)（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 1; PRO-P40: 10 nm
• Y axis resolution (nm)（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 1; PRO-P40: 10 nm
• Z axis resolution (nm)（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 1; PRO-P40: 60 nm
• X axis repeatability（nm）：Uni-directional: 50; Bi-directional, typical: ±70 nm
• Y axis repeatability（nm）：Uni-directional: 50; Bi-directional, typical: ±70 nm
• Z axis repeatability（nm）：Uni-directional: 50; Uni-directional, typical: ±250; Bi-directional, typical: 100 nm
• Rx axis travel（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 23°; PRO-P40: 10°
• Ry axis travel（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 38°; PRO-P40: 10°
• Rz 轴行程（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: 26°; PRO-P40: 360° coarse, 10° fine
• Rx axis resolution：0.04 arcsec; 0.00001°; 50.8 (TPI)
• Ry axis resolution：0.04 arcsec; 0.00001°; 4 arcsec; 0.0002°
• Rz axis resolution：0.04 arcsec; 0.00001°; 50.8 (TPI)
• Rx axis repeatability：Uni-directional: 1.5 arcsec; 0.0004°
• Ry axis repeatability：Uni-directional: 1.5 arcsec; 0.0004°; Bi-directional, typical: 7 arcsec; 0.0003°; Uni-directional, typical: 0.8 arcsec; 0.0002°
• Rz axis repeatability：Uni-directional: 1.5 arcsec; 0.0004°
• Pivot point capability（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: Yes; PRO-P40: No
• Possible orientations（PRO-P60; PRO-P40）：PRO-P60: North/East/West; PRO-P40: North/East/West
• Included：Rail system for toggling into engaged/disengaged positions, fiber array holder and single fiber holder, fiber array holder and single fiber holder counterweight
• Optical head options：ECO-30, 40, 60 – 3, 4 OR 6 MOTORIZED AXIS, SCREW-DRIVEN
• X Y Z axis travel (mm)（ECO-30 40 60）：25 (X, Y), 12.5 (Z) mm
• X Y Z axis resolution (nm)（ECO-30 40 60）：200 (X, Y), 25 (Z) nm
• X Y Z axis bidirectional repeatability (nm)（ECO-30 40 60）：Typical: 125 (X, Y, Z) nm
• X Y Z axis accuracy (µm)（ECO-30 40 60）：Typical: ±4 (X, Y), ±1.5 (Z) µm
ELECTRICAL HEAD
• 选件名称：PRE-00; PRE-MO
• Translation stages type（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: Manual; PRE-MO: Motorized X, Y, Z, manual probe angle
• X Y axis travel range (mm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: 48; PRE-MO: 25 mm
• Z axis travel range (mm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: 48; PRE-MO: 25 mm
• X Y Z axis resolution (nm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: -; PRE-MO: 200 nm
• X Y Z axis repeatability (μm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: -; PRE-MO: 1, Bi-directional, typical: 0.3 μm
• X Y Z axis accuracy (μm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: Typical: 2; PRE-MO: 5 μm
• X Y Z axis speed (mm/s)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: -; PRE-MO: 0.4
• X Y Z axis displacement/revolution (mm/rev)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: 0.3; PRE-MO: -
• Tilt travel（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: 10°; PRE-MO: 10°
• Rail system X travel (mm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: 180; PRE-MO: 180 mm
• Z coarse step travel (mm)（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: Min: 6.35, Max: 56; PRE-MO: Min: 6.35, Max: 57 mm
• Possible orientations（PRE-00; PRE-MO）：PRE-00: North/East/West; PRE-MO: North/East/West
TOP VISION SYSTEM – MECHANICAL BASE HOLDER
• 安装方式：Compatible with metric and imperial optical breadboard, at 90° and 45°
• X Y Z axis travel range（mm）：48 mm
• X Y axis displacement/revolution（mm）：1.41 mm
• Z 轴每转位移（mm）：0.3175 mm
TOP VISION SYSTEM – VISION SYSTEM
• 放大倍率（X）：10
• 数值孔径：0.28
• Depth of field（μm）：3.6 μm
• Horizontal field of view（mm）：0.88 mm
• 工作距离（mm）：34 mm
• 分辨率（MP）：2.9
• 最高帧率（fps）：144
• 传感器规格（inch）：2/3
• 传感器类型：Color, global shutter, 12 bit
• 波长：Visible
• Illumination type：In-line through video microscope unit, LED illuminator
SIDE VISION SYSTEM – MECHANICAL BASE HOLDER
• Mechanical positioning：6D manual coarse adjustment with articulated arm, XY manual translation stage
• 安装方式：Compatible with metric and imperial optical breadboard, at 90° and 45°
• X Y axis travel range（mm）：48 mm
• X Y axis displacement/revolution（mm）：1.41 mm
SIDE VISION SYSTEM – VISION SYSTEM
• Lens type：Telecentric
• 放大倍率（X）：3
• 数值孔径：0.093
• Field of view（mm）：2.9 x 2.2 mm
• 工作距离（mm）：65 mm
• 波长范围：Visible
• 分辨率（MP）：2.9
• 最高帧率（fps）：144
• 传感器规格（inch）：2/3
• 传感器类型：Color, 12 bit, global shutter
• 波长：Visible
a. Other temperature ranges available upon request. b. Custom vacuum patterns available upon request. c. Generic and custom vacuum adaptator plates available upon request. d. Other surface electrical options available upon request: floating, triaxial. a. Optical fibers and electrical probes are not included with the probe arms. b. Motorized Rx (yaw) and/or Rz (roll) axis available upon request. a. Other magnifications options (0.5X, 1X, 2x, 4X, 6X, 8X) available upon request. b. Other working distances options (40 mm, 110 mm) available upon request.
通用规格
GENERAL SPECIFICATIONS – MAIN SYSTEM
• 尺寸（高×宽×深）：1219 mm × 914 mm × 945 mm (48 in × 36 in × 37 1/4 in)
• 重量（kg）：160 kg (352.7 lb)
• 工作环境：Use in a clean environment 至 avoid temperature variations, vibrations, humidity and dust. Compressed air supply needed for chuck.
• 底座：High-quality honeycomb optical breadboard
• Workstation computer：Intel i7 CPU, 32 GB RAM, 1 TB SSD, 2 Ethernet ports, multiple USB ports, Windows 11 Pro, mouse and keyboard included. Base frame available as an option.
• 监测：1 × 27-inch screen
• Cables power supply drive controllers：All included
• Additional communication ports on base station for equipment：Ethernet Cat 6 RJ54, USB-A 3.0
Note: Use the system in a low-vibration environment. Excessive floor or acoustical vibration can negatively impact system performance. Although the base of the station includes a passive vibration isolation system, the expected vibration level for the operation of the OPAL-SD should be equal to or below the VC-A vibration criteria curve for best performances, especially for edge-coupling alignment. The velocity should be below 50 μm/s, when measured by the one-third octave bands of frequency over 8 to 80 Hz. At this level, vibrations are not perceptible. Else, contact us for more information on an active vibration damping system. a. The exact mass of the main system depends on the selected configuration. b. Use the system in a controlled environment. Environmental temperature variations will degrade performance.
注：以上指标摘自 EXFO 官网公开产品规格资料，未特别说明均为典型值；指标可能随硬件与软件版本变化，恕不另行通知。官方规格书中以字母标注的脚注（测试条件）未在本页展开，完整条件请以原规格书为准。
onetest仪器资源库 · EXFO OPAL-SD 单裸片自动化探针台 详细指标
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• EXFO 协议业务部门（蒙特利尔）
2500 Boul. Alfred-Nobel, Saint-Laurent, Quebec H4S 0A9, Canada
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• EXFO 芬兰
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电话：+358 (0) 403 010 300
• EXFO America Inc.
612 Spring Hill Drive, Suite 180, Spring, TX 77386-6045, USA
电话：+1 972-761-9271
• EXFO Europe Ltd.
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电话：+44-2380-246-800
• EXFO Asia Pacific PTE Ltd.
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