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8英寸全自动探针台
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、Mems类晶圆测试
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PT-9200 8英寸全自动探针台|矽电 (在产)
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矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
PT-9200 8英寸全自动探针台
晶圆探针台 · 系统 · 全自动
产品简介
8英寸全自动探针台。适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、Mems类晶圆测试。
核心参数
• 规格型号：PT-9200
• 产品类别：晶圆探针台
• 形态：系统
• 自动化程度：全自动
• 可测晶圆尺寸：8 英寸
功能特性
• 高精度定位平台
• 可满足2000根探针测试，可用于多芯同时探测,提升产能效益
• 精密光学模组及先进的图像算法实现自动对准、自动对针
• CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
• 搭载大尺寸的磨针台，适应不同的磨针方式
• 低漏电chuck：Chuck leakage＜1pA@10V下(可选）
• 配置自动打点器，打点动作时间可调，支持测试后自动打点
• 支持13和25槽片盒传片（SEMI标准）
测试应用与主要功能
• 测试应用：大电流测试、坏点重测、射频测试、无Notch预对准、遮光处理、WAT测试、高温测试、高压测试、高低温测试
• 主要功能：CHUCK自动清理功能、晶圆ID自动读取、自动打点，具备打点器对准调整功能、自动对针功能、自动清针功能、MAP图实时显示、存储产品（支持 wafer map生成及上传测试机）、自动晶圆对准功能、晶圆厚度自动检测功能、SMIF接口、天车系统对接
资源下载
• PT-9200 8英寸全自动探针台 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自矽电半导体设备（深圳）股份有限公司官网（sidea.com）该产品详情页，未标注口径的为厂家公布值。
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 · onetest 仪器资源库
矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
PT-9200 8英寸全自动探针台 详细指标
晶圆探针台 · 系统 · 全自动
详细指标
以下参数取自矽电官网「下载中心」提供的《PT-9200 产品介绍》数据手册（4 页，采集于 2026-10-22）原文；单位统一为 µm / ℃，区间统一用「至」，数值未作任何改动。
电脑配置
• 操作系统：Windows 7 & 10
• PC 机硬盘：≥20 G
• 显示器：23 寸
• 支架：一套
探针台主机
• 综合定位精度：±2 µm
• 重复定位精度：±1 µm
• 可测晶圆尺寸：最大 8 英寸
• 可测晶圆厚度：50 µm 至 1500 µm
• X / Y / Z 轴行程：X≥240 mm；Y≥340 mm；Z≥30 mm
• θ 轴旋转范围：≥±8°
• chuck 平面最大移动速度：速度可调，最大速度 ≥200 mm/s
Chuck
• Chuck 尺寸：8 寸
• Chuck 耐压：3000 V
• Chuck 通流：≥200 A
• Chuck 高温开路漏电：≤20 fA/V
• Chuck 平整度：≤10 µm
• Chuck 表面镀金：支持
温控系统
• 测试温度范围：25 ℃ 至 200 ℃
• 加热速度：25 ℃ 至 200 ℃ 用时 <30 min
• 降温速度：200 ℃ 至 25 ℃ 用时 <30 min
• 分辨率：≤0.1 ℃
• 均匀性（典型值）：±0.5 ℃@25~100 ℃；±0.5%@100~200 ℃
• 高温测试晶圆扩张精度补偿：支持
针座 & 探针
• 精密三维座：螺丝 / 磁吸式固定
• X-Y-Z 方向移动行程：≥14 mm
• 最小移动分辨率：≤0.6 µm
• 开尔文探针：适用温度 -40 ℃ 至 +200 ℃；Leakage Noise ≤20 fA@-40 ℃ 至 +200 ℃
• DC 直流探针：适用温度 -40 ℃ 至 +200 ℃；电流 MAX≥10 A
• 线缆：DC & 三同轴线缆
• 针卡夹具：支持
• 针卡定位：支持
显微镜观察系统
• 显微镜类型：单筒双目 / 三目 / CCD 显微镜
• 放大倍率：光学放大倍率 ≥12 倍，倍率可选
• XYZ 移动范围：X≥25 mm、Y≥25 mm、Z≥120 mm
• 工作距离：≥40 mm
• 变焦方式：无极连续变焦
• 光源配备：LED 环形光源 & 同轴光源
辅助功能
• 屏蔽箱 EMI 屏蔽：1 kHz 至 1 MHz 时 ≥30 dB
• 光衰减：≥130 dB
• 光谱噪声基底：≤-180 dBVrms/rtHz（≤1 MHz）
• 系统交流噪声：≤5 mVp-p（≤1 GHz）
• 防打火（有氮气 / 氟油支持）：200 ℃、3000 V 无空气击穿
• 背金防氧化装置（有氮气支持）：支持
其他
• 三色报警器：支持
• 与测试机联动：支持国内、外测试机，支持通讯定制
• 安全防护：测试过程中锁死，防止开门
• EMO 紧急制动功能：支持
资源下载
矽电官网 PT-9200 产品页「下载中心」的《PT-9200 产品介绍》数据手册（4 页，采集于 2026-10-22）
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传真：0755-89724107
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