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综合型高精度半自动探针台，满足多样化的测试需求
适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、光电器件等晶圆级半自动测试
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PT-320 8英寸半自动探针台|矽电 (在产)
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矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
PT-320 8英寸半自动探针台
晶圆探针台 · 系统 · 半自动
产品简介
综合型高精度半自动探针台，满足多样化的测试需求。适用于8英寸及以下的集成电路、功率器件、光电器件等晶圆级半自动测试。
核心参数
• 规格型号：PT-320
• 产品类别：晶圆探针台
• 形态：系统
• 自动化程度：半自动
• 可测晶圆尺寸：8 英寸
功能特性
• 全新一代高精度定位平台
• 开放式面板设计，搭配不同组件，实现更加丰富的测试功能
• 自动对针，更适用于集成电路多芯同测和倒扣扎针的测试需求
• 常高温、高温、恒温等CHUCK可选
• 抽测功能，可实现晶圆片上不等距步进，任意点测试
• 具有多Bin分类显示Mapping功能，任意分析晶圆参数分布情况
• 高精密光学模组，结合最新图像软件算法，实现探针自动精确定位，安全可靠自动测试
• CHUCK模块化设计，选配、更换更加便捷
测试应用与主要功能
• 测试应用：WAT测试、高低温测试、射频测试、高压测试、大电流测试、低漏电测试、低阻测试
• 主要功能：针痕检测功能、自动清针功能、MAP图实时显示、存储产品、自动对针功能、自动晶圆对准功能、晶圆厚度自动检测功能
资源下载
• PT-320 8英寸半自动探针台 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自矽电半导体设备（深圳）股份有限公司官网（sidea.com）该产品详情页，未标注口径的为厂家公布值。
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 · onetest 仪器资源库
矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
PT-320 8英寸半自动探针台 详细指标
晶圆探针台 · 系统 · 半自动
详细指标
矽电官网该产品页未提供技术参数表（页面无参数表、也无可下载的数据手册）。此处完整列出官网给出的功能与应用条目，平台不对指标作推测补全；如需完整规格，请向厂家索取正式数据手册。
测试应用
• WAT测试
• 高低温测试
• 射频测试
• 高压测试
• 大电流测试
• 低漏电测试
• 低阻测试
主要功能
• 针痕检测功能
• 自动清针功能
• MAP图实时显示、存储产品
• 自动对针功能
• 自动晶圆对准功能
• 晶圆厚度自动检测功能
资源下载
矽电官网 sidea.com 该产品详情页（采集于 2026-10-22）所给出的功能与应用条目
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