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CN015 多路扫描测试软件。测量电池电芯的开路电压（OCV）、内部电阻（AC-IR）， 测量结果同时自动匹配条形码。使用SW1001(或SW1002)可实现多个电池的边切换、边测试。只需通过电芯上的条形码查询到对应的数据文件，即可追溯到问题工序。先为电池电芯本体赋予条形码（激光印刷、标签粘贴），使用扫码枪读取条形码情报（支持双通道）， 再以数据文件形式保存，规避人为输入存在的失误，全数字化模式方便后续管理。
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专用于光掩模及掩模底版超小缺陷复查与分类的 DR-SEM，SEM 空间分辨率 2nm，针对 EUV 光刻掩模要求做了多项改进设计。
支持亚 2nm 节点光罩的 CD-SEM，相比 E3650 测量精度提升 20% 以上，并支持曲线图案测量与基于设计的量测。
支持亚 10nm 节点光罩多维观察与 SEM 测量的系统，测量产量较 E3640 提升一倍，MAM 时间与测量精度大幅改善。
MASK MVM-SEM E3640 光罩量测扫描电镜 1Xnm|爱德万测试 (在产)
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系统与解决方案
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MASK MVM-SEM E3640 光罩量测扫描电镜 1Xnm
1Xnm 工艺覆盖 · 支持光刻仿真 · 连接 EDA 工具 · 实时三维观察测量
产品简介
持续小型化的半导体工艺正在拉动对光罩和晶圆稳定生产以及高精度图案尺寸测量的需求。E3640 凭借行业领先的精密测量能力与升级后的功能，符合这些要求，进而提高光罩研发和生产效率。
爱德万新型 E3640 多视觉测量扫描电子显微镜（MVM-SEM）支持光罩和其他图案介质的图案测量，尺寸小至 1Xnm。作为广泛采用的 E3600 系列 SEM 系统新产品，E3640 显著提高了测量精度和产量，除标准半导体光刻光罩外，还为 EUV 光罩和 NIL 模板提供增强的量测性能。
官方定位：1Xnm 工艺覆盖 · 支持光刻仿真 · 连接 EDA 工具 · 实时三维观察测量
核心参数
• 工艺节点覆盖：1Xnm
• 类型：多视觉测量扫描电子显微镜（MVM-SEM）
• 测量对象：光罩及其他图案介质
• 扩展能力：EUV 光罩与 NIL 模板增强量测
• 软件特性：支持光刻仿真、连接 EDA 工具
• 观察能力：促进实时三维观察和测量
1Xnm 工艺覆盖
• 支持尺寸小至 1Xnm 的图案测量
• 支撑半导体批量生产向 1Xnm 节点的转变
面向先进光罩的能力
• 除标准光刻光罩外，为 EUV 光罩与 NIL 模板提供增强量测性能
• 作为 E3600 系列新产品，显著提高测量精度与产量
软件与协同
• 支持光刻仿真
• 可连接至 EDA 工具
• 促进实时三维观察和测量
典型应用场景
• 光罩图案尺寸测量
• EUV 光罩量测
• NIL 纳米压印模板测量
• 光罩研发与生产效率提升
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 MASK MVM-SEM E3640 详细指标页
onetest仪器资源库 · 爱德万测试 MASK MVM-SEM E3640
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MASK MVM-SEM E3640 · 详细指标
1Xnm 工艺覆盖 · 支持光刻仿真 · 连接 EDA 工具 · 实时三维观察测量
产品简介
支持光罩与其他图案介质图案测量的多视觉测量扫描电镜（MVM-SEM），尺寸小至 1Xnm，并为 EUV 光罩与 NIL 模板提供增强量测性能。
官方定位：1Xnm 工艺覆盖 · 支持光刻仿真 · 连接 EDA 工具 · 实时三维观察测量
核心规格
• 工艺节点覆盖：1Xnm
• 类型：多视觉测量扫描电子显微镜（MVM-SEM）
• 测量对象：光罩及其他图案介质
• 扩展能力：EUV 光罩与 NIL 模板增强量测
• 软件特性：支持光刻仿真、连接 EDA 工具
• 观察能力：促进实时三维观察和测量
1Xnm 工艺覆盖
• 支持尺寸小至 1Xnm 的图案测量
• 支撑半导体批量生产向 1Xnm 节点的转变
面向先进光罩的能力
• 除标准光刻光罩外，为 EUV 光罩与 NIL 模板提供增强量测性能
• 作为 E3600 系列新产品，显著提高测量精度与产量
软件与协同
• 支持光刻仿真
• 可连接至 EDA 工具
• 促进实时三维观察和测量
典型应用场景
• 光罩图案尺寸测量
• EUV 光罩量测
• NIL 纳米压印模板测量
• 光罩研发与生产效率提升
注：以上指标按爱德万测试中国站产品页与其公开手册整理，未特别说明者为厂商标称值；如官网与手册冲突以厂商最新发布为准。
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onetest仪器资源库 · 爱德万测试 MASK MVM-SEM E3640 详细指标
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爱德万测试（中国）管理有限公司
电话：+86-21-6163-0000
传真：+86-21-2028-7600
地址：上海市张江高科技园区华佗路 168 号 3 号楼 C 幢（邮编 201203）
网址：https://www.advantest.com/cn/
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