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支持亚 2nm 节点光罩的 CD-SEM，相比 E3650 测量精度提升 20% 以上，并支持曲线图案测量与基于设计的量测。
支持亚 10nm 节点光罩多维观察与 SEM 测量的系统，测量产量较 E3640 提升一倍，MAM 时间与测量精度大幅改善。
支持光罩与其他图案介质图案测量的多视觉测量扫描电镜（MVM-SEM），尺寸小至 1Xnm，并为 EUV 光罩与 NIL 模板提供增强量测性能。
MASK DR-SEM E5620 光罩缺陷复检电镜 2nm|爱德万测试 (在产)
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爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MASK DR-SEM E5620 光罩缺陷复检电镜 2nm
SEM 空间分辨率 2nm · EDS 能量分辨率 127eV（选配）· 支持 6025 尺寸光掩模
产品简介
E5620 是专用于光掩模及掩模底版上超小缺陷的复查和分类的一款 MASK DR-SEM 产品。该产品采用爱德万测试极其稳定的图像捕捉技术，可轻松导入掩模检测系统的缺陷定位数据，并自动对缺陷位置进行成像。
与上一代 DR-SEM 系统 E5610 相比，E5620 专门针对极紫外（EUV）光刻技术的掩模要求进行了多项改进设计。
官方定位：SEM 空间分辨率 2nm · EDS 能量分辨率 127eV（选配）· 支持 6025 尺寸光掩模
核心参数
• 类型：缺陷复查扫描电子显微镜（DR-SEM）
• 支持材料：6025 尺寸光掩模
• SEM 空间分辨率：2nm
• EDS 能量分辨率：127eV（选配）
• 图像采集：极其稳定的自动图像采集技术
• 兼容性：兼容掩模检测系统
• 选件：元素组成分析选件、背散射电子分析选件
高空间分辨率
• SEM 空间分辨率达到 2nm
• 适用于光掩模及掩模底版上超小缺陷的复查与分类
稳定的自动图像采集
• 采用极其稳定的图像捕捉技术
• 可轻松导入掩模检测系统的缺陷定位数据
• 自动对缺陷位置进行成像
分析与兼容能力
• 兼容掩模检测系统
• 元素组成分析选件
• 背散射电子分析选件
典型应用场景
• 光掩模缺陷复查与分类
• EUV 光刻掩模缺陷分析
• 掩模底版缺陷检测
• 缺陷元素组成分析（EDS 选件）
资源下载
• 详细指标：全部技术指标已单独整理，详见 MASK DR-SEM E5620 详细指标页
onetest仪器资源库 · 爱德万测试 MASK DR-SEM E5620
爱德万测试 Advantest · 株式会社爱德万测试（Advantest Corporation）
MASK DR-SEM E5620 · 详细指标
SEM 空间分辨率 2nm · EDS 能量分辨率 127eV（选配）· 支持 6025 尺寸光掩模
产品简介
专用于光掩模及掩模底版超小缺陷复查与分类的 DR-SEM，SEM 空间分辨率 2nm，针对 EUV 光刻掩模要求做了多项改进设计。
官方定位：SEM 空间分辨率 2nm · EDS 能量分辨率 127eV（选配）· 支持 6025 尺寸光掩模
核心规格
• 类型：缺陷复查扫描电子显微镜（DR-SEM）
• 支持材料：6025 尺寸光掩模
• SEM 空间分辨率：2nm
• EDS 能量分辨率：127eV（选配）
• 图像采集：极其稳定的自动图像采集技术
• 兼容性：兼容掩模检测系统
• 选件：元素组成分析选件、背散射电子分析选件
高空间分辨率
• SEM 空间分辨率达到 2nm
• 适用于光掩模及掩模底版上超小缺陷的复查与分类
稳定的自动图像采集
• 采用极其稳定的图像捕捉技术
• 可轻松导入掩模检测系统的缺陷定位数据
• 自动对缺陷位置进行成像
分析与兼容能力
• 兼容掩模检测系统
• 元素组成分析选件
• 背散射电子分析选件
典型应用场景
• 光掩模缺陷复查与分类
• EUV 光刻掩模缺陷分析
• 掩模底版缺陷检测
• 缺陷元素组成分析（EDS 选件）
官方产品页指标原文
• 2nm
注：以上指标按爱德万测试中国站产品页与其公开手册整理，未特别说明者为厂商标称值；如官网与手册冲突以厂商最新发布为准。
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爱德万测试（中国）管理有限公司
电话：+86-21-6163-0000
传真：+86-21-2028-7600
地址：上海市张江高科技园区华佗路 168 号 3 号楼 C 幢（邮编 201203）
网址：https://www.advantest.com/cn/
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